SiC-båt för waferhantering

Semicorex SiC Boat for Wafer Handling är tillverkad av en kiselkarbid av exceptionell renhet och har en konstruktion som inkluderar precisionsslitsar för att säkra wafers, vilket dämpar alla rörelser under operativa procedurer. Valet av kiselkarbid som material säkerställer inte bara hårdhet och motståndskraft utan också förmågan att tåla höga temperaturer och exponering för kemikalier. Detta gör SiC Boat for Wafer Handling till en central komponent i en mängd halvledarproduktionssteg, såsom odling av kristaller, diffusion, jonimplantation och etsningsprocesser.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Utmärkt av sitt oöverträffade förhållande mellan styrka och vikt och överlägsna värmeledande egenskaper, genomgår Semicorex SiC Boat for Wafer Handling en ytterligare förbättringsprocess genom en CVD SiC-beläggning. Detta extra beläggningslager förstärker dess motståndskraft mot påfrestningar i processmiljöer och skyddar det från både kemisk nedbrytning och termiska fluktuationer, vilket avsevärt förlänger dess livslängd och säkerställer konsekvent prestanda under stränga driftskrav.

I termiska operationer som glödgning eller diffusion är SiC Boat for Wafer Handling avgörande för att uppnå en jämn temperaturfördelning på waferns yta. Dess utmärkta värmeledningsförmåga underlättar effektiv värmespridning, minskar värmeskillnader och främjar enhetlighet i processresultat.

Semicorex SiC Boat for Wafer Handling är uppskattad för sin tillförlitlighet och enastående prestanda, som uppfyller de rigorösa kraven för modern halvledarproduktion. Med sin anpassningsförmåga för både batch- och individuella wafer-processer, står SiC Boat for Wafer Handling som ett viktigt verktyg för halvledarproduktionsanläggningar dedikerade till att uppnå överlägsna produktstandarder och maximerat utbyte. SiC-båten för waferhanterings roll är avgörande för att upprätthålla båda integriteten och tillförlitligheten hos wafers, hitta omfattande tillämpning på halvledarproduktionsutrustning, industriella enheter och som reservdelar.