Sic båthållare

SEMICOREX SIC Boat Holders är Precision Support-enheter som är utformade för att hålla skivbåtar under högtemperaturprocesser i halvledarskapning. Tillverkade av kiselkarbid med hög renhet (SIC) uppvisar dessa innehavare utmärkt termisk stabilitet, kemisk resistens och mekanisk styvhet, väsentliga funktioner när de används i processer såsom diffusion, oxidation och epitaxial tillväxt.

I krävande halvledarframställningsmiljöer är det avgörande att skydda skivintegritet och minimera föroreningar. SIC -båthållare erbjuder en solid, inert plattform som kan tolerera extrema ugnsmiljöer medan de bibehåller integritet utan deformation och utan frisättning av föroreningar. Deras kemiska inerthet tillåter deras användning med reaktiva processgaser, medan deras termiska transmittans främjar till och med uppvärmning av ytan på skivorna för konsekvent bearbetning.

Varje SIC -båthållare är tillverkad med en hög tolerans för dimensionell noggrannhet, vilket gör dem enkla att rymma och anpassa sig till eventuella skivbåttyp och automatiserade lastkonfigurationer. Deras styva struktur skapar inte bara starkt, stabilt och tillräckligt stöd för skivbåtarna utan minskar också chansen att mikrovibrationer eller positionsförskjutningar kan ha på skivorna. Dessutom har kiselkarbid utmärkt slitstyrka och kan hantera upprepad värmecykling för att ge en lång livslängd vilket resulterar i liten driftstopp och utbyte av injektionsdelar.

De unika attributen för kiselkarbid kan ge extra fördelar med avseende på processrenhet. Till skillnad från metaller eller keramiska material i lägre kvalitet flingar inte SIC, utgas eller kemiskt nedbrytning under extrema temperaturer eller i plasma. Detta gör SIC -båthållare till ett bra verktyg för tillverkare som försöker begränsa föroreningar av renrum för avancerade halvledarnoder som kräver hög avkastning och renhet.

Semicorex SIC -båthållare produceras med unika form- och sintringsprocesser som säkerställer enhetlig mikrostruktur och mekanisk prestanda mellan satser och över flera båthållare. Till exempel kan hållarform eller spelautomatkonfiguration anpassas, liksom typen av montering.

Oavsett om det används i vertikala ugnar eller horisontella reaktorer, kommer anpassning av SEMICOREX SIC-båthållare att möta toleranserna för nästa generations halvledare manufactring. Om du väljer Semicorex -produkter, kommer du att veta att du arbetade med en leverantör som är kunnig, hängiven till materiell excellens och strävar efter att kontinuerligt förnya keramiska komponenter med avseende på tillförlitlighet och leverans.