SiC båt

Semicorex SiC-båtar är noggrant tillverkade av högren SiC-keramik, ett material som är berömt för sin oöverträffade termiska stabilitet, exceptionella mekaniska styrka och orubbliga kemiska tröghet. Dessa egenskaper gör den till det perfekta valet för de rigorösa förhållandena vid tillverkning av halvledarprodukter.

SiC-båtar har oöverträffad mekanisk styrka och hållbarhet, tack vare materialets hårdhet och exceptionella motståndskraft mot slitage. Detta gör det möjligt för dem att uthärda den krävande karaktären hos halvledarproduktionsmiljöer med hög genomströmning utan att ge efter för gradvis slitage. Till skillnad från andra material bibehåller SiC sin strukturella integritet över tid, vilket avsevärt minskar behovet av frekventa byten och minimerar stilleståndstiden i tillverkningsverksamheten – vilket i slutändan leder till betydande kostnadsbesparingar för halvledartillverkare.

SiC:s kemiska tröghet förstärker ytterligare dess lämplighet för halvledarprocesser genom att göra den mycket resistent mot kemiska angrepp från reaktiva gaser och vanliga material som klor och fluor. Denna robusta motståndskraft säkerställer att SiC-båtar inte förorenar wafers under bearbetning, vilket upprätthåller renheten och kvaliteten på de halvledarenheter som tillverkas. För processer som kräver en ännu högre nivå av kemikaliebeständighet kan SiC-båtar beläggas med ytterligare ett lager SiC, vilket ger en extra barriär mot kemiska angrepp och höjer båtens ytfinish för att minska risken för partikelkontamination.

Den höga renheten hos SiC-keramik som används i dessa båtar är avgörande, eftersom halvledartillverkning kräver material med minimala föroreningar. Även spårmängder av föroreningar kan försämra de elektriska egenskaperna hos wafers och resultera i defekter i slutenheterna. SiC-båtar är konstruerade av SiC-keramik med ultrahög renhet för att säkerställa att de inte inför några föroreningar i processmiljön, även under de höga temperaturer och reaktiva förhållanden som är typiska för halvledartillverkning. Denna renhet stärker SiC-båtarnas tillförlitlighet för kritiska processsteg.

SiC-båtarnas kompatibilitet med olika halvledarutrustning är av största vikt. SiC:s mångsidighet gör att den kan bearbetas exakt för att passa de specifika dimensioner och konfigurationer som krävs av olika typer av halvledarugnar och -reaktorer, vilket gör dem lämpliga för ett brett spektrum av applikationer, från småskalig forskning och utveckling till storskaliga produktionslinjer. Dessutom bidrar materialets exceptionella värmeledningsförmåga och värmeavledningsegenskaper till effektivare temperaturkontroll under bearbetning, vilket ytterligare förbättrar prestanda och utbyte av halvledarenheter.