Sic cantilever paddlar

Semicorex Sic Cantilever-paddlar är högpresterande komponenter som är utformade exakt för skivhantering och skivtransport i halvledarens termiska bearbetningsutrustning (LPCVD, PECVD, oxidation och diffusionsugnar). Dessa utskjutande paddlar ger en plattform för skivor och en nödvändig form av stöd som säkerställer stabil och tillförlitlig transport av spröda skivor genom hårda högtemperaturprocesser (ofta överstiger 1200 ° C). Cantilever-paddlarna är tillverkade av kisel med hög renhet (SIC) som ger mekanisk hållbarhet, termisk stabilitet och anti-korrosiva egenskaper för halvledarstillverkningsmiljön.

Silikonkarbid är ett superpremium keramiskt material med utmärkt värmeledningsförmåga, låg termisk expansion och förmågan att utföra pålitligt i kemiskt fientliga miljöer. Kiselkarbid i utskjutande paddlar kan bidra till att minska termisk varning

 och rörelse som håller skivorna platt och i deras nominella bearbetningsposition. Termisk stabilitet hos skivan i samband med cantilever -paddlar är viktigt för att minimera problem med partikelföroreningar och mekanisk rörelse, särskilt när man producerar avancerade nodenheter. Dessa problem kan resultera i avkastningsförlust eller kostsam omarbetning och utbyte av skivor.

Den monolitiska formen av Sic Cantilever -paddlarna förbättrar mekanisk robusthet och termisk enhetlighet samtidigt som man eliminerar leder och svaga punkter som vanligtvis kan existera i kompositer. Vidare kontrolleras ytan på paddlarna specifikt och poleras generellt till en nästan spegelkvalitet för att minimera partikelproduktion och är mycket renrumsklassskompatibel.

Vid diffusions- och oxidationsprocesser som involverar syre, ånga och andra reaktiva gaser; Konventionella material kan smälta ner eller deformeras över tid. SIC: s inneboende kemiska inert egenskap säkerställer att paddlarna inte kommer att utgåva, eller korrodera och införa förorening till processen på grund av användningen av instabila material, vilket bidrar till en mer stabil process och pålitliga resultat.  Den strukturella integriteten hos Sic Cantilever -paddlar förblir stabil trots snabb cykling av uppvärmning och kylning. Därför erbjuder de lång driftslivslängd med kraftigt minskat underhåll eller del av driftstopp.

Dessutom möjliggör den reducerade massan och lätta vikten av SIC -paddlar ett snabbare termiskt svar; Därigenom möjliggör snabbare termiska ramp-up och nedkylningstider som bidrar till ökad produktivitet och energieffektivitet, alla större mätvärden i det konkurrenskraftiga landskapet för halvledartillverkning.

SIC Cantilever -paddlar kan levereras i en mängd olika konfigurationer och storlekar, designade och tillverkade för att rymma olika ugnsdesign och skivstorlekar från 100 mm till 300 mm och större. OEM-tillverkare och utrustningsintegratorer uppskattar SIC-paddlarnas konsistens och tillförlitlighet över tid, för utplaceringar i både front-end och back-end-processer.

Semicorex erbjuder premium Sic Cantilever -paddlar med snäv kontroll över materiell renhet, mikrostruktur och dimensionella toleranser. Våra avancerade processfunktioner, i kombination med vår kunskap om halvledarens termiska dynamik, gör det möjligt för oss att producera paddlar med dessa attribut som uppfyller eller överskrider industristandarder för stabilitet, renlighet och hållbarhet. När det måste vara rätt och pålitligt är Semicorex platsen att gå för SIC -komponenter av hög kvalitet.