Sic keramiska båtar

Semicorex sic keramiska båtar är modernaste bärare speciellt utformade för att säkert transportera, lagra och bearbeta halvledare i de mest krävande kemiskt och termiskt extrema miljöerna. Halvledarindustrin har snabbt antagit nya prestandanormer som har krävt SIC-keramiska båtar att pålitligt, tillförlitligt och föroreningsfria uppnår de intoleranta och kritiska kraven för de moderna skivtillverkningsprocesserna.

Stark termisk stabilitet och styrka

Det definierande attributet för Sic keramiska båtar är dess mycket höga termiska stabilitet. Sic keramiska båtar kan uthärda temperaturen över 1600 ° C utan att förlora sin form eller struktur under aggressiva termiska cykelprocesser. På grund av den ultralåga termiska expansionskoefficienten är Sic-keramiska båtar mindre benägna att snedvridning och sprickor, vilket möjliggör snäva toleranser och total skivsäkerhet under hantering under styva förhållanden.

Hög renhet och kemisk motstånd

Sic keramiska båtar är tillverkade av ultrahög renhet kiselkarbid. Sic keramiska båtar är också mycket resistenta mot kemisk nedbrytning, frätande och eroderande plasma. Den inerta naturen hos Sic -keramiska båtar innebär processer för frätande gaser, reaktiva miljöer, sura förhållanden skulle utgöra antingen ingen förorening från båten eller inget lösligt för att skada arbetsprocessen. Den icke-kontaminerande ytan på SIC-keramiska båtar möjliggör ingen partikelproduktion eller jonlakning, vilket en skivyta inte äventyras av föroreningar som hindrar enhetens prestanda eller utbyte.

Precisionsteknik för säker och säker skivhantering

Sic keramiska båtar tillverkas inom trånga toleranser, vilket gör att de kan hantera skivor med olika diametrar, inklusive 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm och mer. Den strukturella utformningen av SIC -båtar ger utmärkt planhet, parallellitet och enhetlig spårstorlek för att upprätthålla korrekt skiva -lapporientering och skydda kanterna på skivan vid överföring till en annan process eller verktyg. Alla SIC -båtar kan utformas med anpassade dimensioner för att matcha verktygssatsen eller uppfylla alla automatiseringsspecifikationer.

Lång livslängd och mer kostnadseffektiv

SIC ersätter traditionella material (kvarts, aluminiumoxid) med betydligt förbättrad mekanisk styrka, frakturthet och termisk chockmotstånd. Denna hållbarhetsnivå innebär en längre livstid före "misslyckande", betydligt färre ersättningar under drift och lägre totala ägandekostnader. Konsistensen i prestanda från SIC: s hållbarhet kommer att minska tiderna och påskynda genomströmningen på halvledartillverkningslinjer.

Öppna applikationer i halvledarprocesser

SIC-keramiska båtar används allmänt i halvledarprocesser i front-end som:

LPCVD- och PECVD -deponering

Termisk oxidation

Jonimplantation

Glödgning och diffusion

Rensning av skivor och kemisk bearbetning

SIC -keramiska handtag har kompatibla behandlingsapplikationer i både atmosfär och vakuumprocesskamrar, vilket gör det till ett idealiskt val för gjuterier och FAB som vill minimera och minska risken för förorening samtidigt som produktiviteten förbättras.