SiC keramisk fribärande paddel

Stor waferbelastningskraft kiselkarbid SiC keramisk fribärande paddel är lämplig för ett automatiskt lastnings- och hanteringssystem för en robot eftersom den har stabil prestanda, icke-deformation vid hög temperatur och stor waferladdningskraft. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Eftersom sektionen av den fribärande skoveln är stabil utan deformation, är det möjligt att göra wafer i större storlek med hjälp av befintliga ugnsrör. SiC keramisk fribärande paddel kan appliceras på LPCVD på basis av dess liknande värmeutvidgningskoefficient med LPCVD-beläggning, vilket avsevärt förlänger underhålls- och rengöringscykeln och avsevärt minskar föroreningar.

Vi kan producera produkten efter dina ritningar och arbetsmiljön.

Funktioner:

Stor belastning

Låg värmeledningsförmåga

Hög temperaturbeständighet