SiC-belagda gasavledningsskivor

Semicorex står som det fina exemplet på avancerade material av halvledarkvalitet och banbrytande tillverkningsteknik.SiC-belagdgasavledningsskivor är exakt tillverkade av högren grafit som deras matriser med en tät SiC-beläggning via kemisk ångavsättning. Gasavledningsskivor är huvudsakligen utformade för att fördela reaktionsgasen jämnt över skivans yta för att säkerställa fullständiga reaktioner under bearbetningen, vilket underlättar bildandet av konsekventa och enhetliga enkristallina tunna filmer.

Fördelarna med Semicorex SiC-belagda gasavledningsskivor

1.Hög materialrenhet

Semicorex upprätthåller stränga produktkvalitetsstandarder från noggrant materialval. Tack vare denna strikta renhetskontroll av råmaterial ger Semicorex SiC-belagda gasavledningsskivor låg föroreningshalt och ståtar med enastående renhet. Detta kan avsevärt förhindra metalljoner och andra föroreningar från att äventyra epitaxiella halvledarprocesser.

2. Överlägsen termisk stabilitet

Komponenterna som används i dessa system måste ha exceptionell termisk stabilitet eftersom halvledarepitaxialutrustning vanligtvis arbetar vid temperaturer över 1400°C. Denna exceptionella termiska stabilitet kan säkerställa att Semicorex SiC-belagda gasavledningsskivor tål de utmanande driftförhållandena vid höga temperaturer och kan effektivt förhindra utsläpp av föroreningar orsakade av hög temperatur under drift, vilket hjälper till att garantera kvaliteten och utbytet av epitaxiella wafers.

3. Anmärkningsvärd korrosionsbeständighet vid hög temperatur

Oskyddade grafitmatriser är benägna att korrosion och generering av partiklar, vilket är anledningen till att gasavledningsskivor vanligtvis behandlas med en kiselkarbidbeläggning för att förbättra deras korrosionsbeständighet. Täckta med en tät SiC-beläggning erbjuder  Semicorex SiC-belagda gasavledningsskivor utmärkt oxidations- och kemisk korrosionsbeständighet, vilket gör att de fungerar stadigt under lång livslängd även under utmanande höga temperaturer och korrosiva driftsförhållanden.

4.Flexibla anpassningsmöjligheter

Semicorex är utrustat med flera avancerad bearbetningsutrustning, såsom CNC-bearbetningsutrustning, ytslipmaskiner och ultraljudsborrutrustning, som erbjuder erfarna bearbetningsmöjligheter. Semicorex kan erbjuda flexibla anpassningstjänster enligt kundens ritningar och skräddarsy dimensioner, toleranser, ytplanhet, håldiametrar och hålavstånd för SiC-belagda gasavledningsskivor för att säkerställa sömlös kompatibilitet med kundernas epitaxiella utrustning.