SiC fokusringar

Semicorex avancerade SiC Focus Rings med hög renhet är byggda för att motstå extrema miljöer i plasmaetsning (eller torretsning) kammare. Vi fokuserar på halvledarindustrier som kiselkarbidskikt och epitaxihalvledare. Våra produkter har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Semicorex levererar SiC Focus Rings är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring. SiC Focus Rings eller kantringar är designade för att förbättra etsningslikformigheten runt waferns kant eller omkrets. Minimera kontaminering och oplanerat underhåll med komponenter med hög renhet som är konstruerade för strängheten vid plasmaetsning. Våra SiC Focus Rings med SiC Coating är en tät, slitstark kiselkarbid (SiC) beläggning. Den har höga korrosions- och värmebeständighetsegenskaper samt utmärkt värmeledningsförmåga. Vi applicerar SiC i tunna lager på grafiten med den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD).

Parametrar för SiC Focus Rings

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC β-fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	μm	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300 ℃)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Funktioner hos SiC Focus Rings

- CVD Silicon Carbide beläggningar för att förbättra livslängden.

- Värmeisolering gjord av högpresterande renat styvt kol.

- Kol/kolkompositvärmare och platta. - Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.

- Högren grafit och SiC-beläggning för nålhålsbeständighet och längre livslängd