SIC horisontella ugnsrör

SIC horisontella ugnsrörär de oumbärliga bärarna för ugnssystemet, vanligtvis placerade i kärnvärmeområdet för halvledartillverkning eller solcellsproduktionsutrustning. De arbetar tillsammans med värmeelementen, temperaturkontrollsystemen, gaskontrollsystemen och waferbåtarna för att bilda det kompletta ugnssystemet.

I själva driften värms SIC horisontella ugnsrör av värmeelementen, som likformigt överför värmen till ugnsrören med hjälp av den utmärkta värmeledningsförmågan hos kiselkarbidmaterial. Under tiden införs specifika processgaser (såsom syre, kväve, dopningsgaser etc.) i ugnsröret. Under inverkan av denna gasatmosfär med hög temperatur kommer halvledarmaterial inuti ugnen att genomgå kemiska reaktioner eller fysiska förändringar, vilket i slutändan uppnår materialmodifiering, dopning eller strukturell optimering.

Semicorex horisontella SIC-ugnsrör levererar anmärkningsvärd mekanisk styrka och hårdhet, vilket spelar en betydande roll i applikationer som involverar hantering och bearbetning av stora volymer av wafer. SIC horisontella ugnsrör kan ge stabilt stöd för wafers i värmebehandlingsprocesser såsom oxidation, diffusion och glödgning, vilket säkerställer att wafers är i rätt position under högtemperaturbearbetning och undviker förskjutning eller deformation orsakad av termisk stress.

Semicorex horisontella SIC ugnsrör är tillverkade av hög renhetkiselkarbidkeramikmed ultralågt föroreningsinnehåll, följt av avsättning av en CVDkiselkarbidbeläggningpå deras yta. Denna tillverkningsmetod lägger till ett skyddande lager till SIC horisontella ugnsrör, vilket gör att de kan arbeta stabilt i krävande högtemperatur- och korrosiva miljöer över tid. Denna korrosionsbeständighetsprestanda hos horisontella SIC-ugnsrör förbättrar effektiviteten vid tillverkning av halvledarskivor genom att effektivt minska risken för korrosionsrelaterade komponentskador och minska behovet av frekventa byten och underhåll.

Med så många överlägsna egenskaper används Semicorex horisontella SIC-ugnsrör i stor utsträckning i många högtemperaturprocesser inom solcells- och halvledarindustrin, såsom oxidationsprocess, diffusionsprocess, glödgningsprocess och kemisk ångavsättning vid lågt tryck.