SiC -oxidationsrör

Semicorex SiC-oxidationsrör är konstruerat av kisel med hög renhet kiselkarbid konstruerad för oxidation, diffusion eller glödgningsprocesser som vanligtvis utförs vid 1600 ° C. Som en del av en SIC -ugn, horisontell eller vertikal, är detta den kontrollerade miljön som skivorna värms in under oxidation. Oxidationsrörets funktion är att tillhandahålla en ren, enhetlig och stabil miljö för termisk behandling av kiselkarbid (SIC) skivor i tillverkningen av kraftanordningar och bred bandgap -halvledare, som öppning av den ständiga potentiella oxidationsprocessen, oxidationsröret fungerar som ett konsumtiskt mål för första användning. Medan kvarts- och aluminiumoxidrör ofta hittas bryts ned över tid genom avvikelse, vridning eller kemisk nedbrytning, har kiselkarbid exceptionell hållbarhet mot termiska chockutmaningar, förbättring av mekanisk egendom och kemisk inerthet. Dessa faktorer ger kiselkarbid som ett bra alternativ för oxidationsrör i miljöer med hög tillförlitlighet.

Med hjälp av avancerade former av formning såsom kall isostatisk pressning och trycklös sintring (eller omkristallisering) producerar Semicorex SiC-oxidationsrör som har en tät, gastät och homogen mikrostruktur. Detta ger styrka utan risk för porositet, vilket gör att oxidationsprocessen kan fortsätta utan förorening. SIC har mycket hög värmeledningsförmåga, vilket möjliggör enhetlig termisk distribution till skivbelastningszonen och därmed minskar termiska gradienter som kan orsaka snedställda skivor eller defekter. Rörets resistens mot syror, baser och reaktiva gaser förhindrar oönskade kemiska interaktioner med skivytan och också genom ugnsmiljön.

Det kryper inte, det deformeras inte. Röret behöver inte bytas ut efter flera produktionscykler-det är långsiktiga termiska cykelmiljöer som annars skulle förstöra mindre material. Därför innebär inga högfrekvensavbrott låga driftskostnader, och detta håller processflödet utan några störningar. Detta minskar också föroreningsrisker som lätt kan sänka avkastningens prestanda i nästa generations halvledarenheter där spårföroreningar spelar en kritisk roll. Semicorex producerar både standard och helt anpassade rördimensioner för alla ugnsplattformar och recept som används. Inre och ytterdiameter, längd, väggtjocklek och ytfinish är alla parametrar som kan kräva en justering för att tillgodose olika specifika termiska och mekaniska behov; från laboratorieskala FoU-ugnar upp till stora tillverkningslinjer-i varje fall där röret behöver bearbetning, rengöring och inspektion för att garantera prestanda.

Kvalitetskontroll börjar med dimensionella kontroller, materialdensitetstester och validering av termisk cykeltillförlitlighet för varje SiC -oxidationsrör. Ett starkt materialspårbarhetssystem loggar produkten från sitt råpulverstadium till slutinspektion. Den typen av kvalitet ger kunderna en stadig hand i den långsiktiga stabiliteten och reproducerbarheten av våra SIC-oxidationsrör.

Välj Semicorex och få en partner i en leverantör som kombinerar avancerad keramisk teknik med bred processkontroll och lyhörd teknisk support genom att arbeta tillsammans från början. Vi lär oss om din specifika ugnsmiljö, processkrav och integrationsutmaningar så att vi kan erbjuda dig anpassade lösningar som förbättrar dina processresultat och verktygsdödtid.

Semicorex Sic Oxidation Tube ger bästa möjliga termiska prestanda med kemisk stabilitet och mekanisk styrka. Det blir hjärtat i alla höga temperatur SIC-bearbetningssystem genom att tillhandahålla en enhetlig termisk miljö under oxidation och glödgning av avancerade halvledarmaterial. För tillverkare som kräver att ugnskomponenter ska vara pålitliga, rena och långvariga, kommer Semicorex att vara ett produktval som stöds av kunskap och erfarenhet samt en standard för att leverera inget annat än det bästa.