Sic -rör

Semicorex SIC -rör är keramiska delar för halvledarens ugnssystem.  De har unika egenskaper som inkluderar hög termisk överföring och högtemperatur och kemisk resistens som krävs i halvledande applikationer där det finns extremt högtemperatur och kemiska miljöförhållanden som förväntas och där egenskaper är önskvärda - hållbarhet, energieffektivitet och unika stabila processförhållanden - vilket gör det möjligt att användas ekonomiska i avancerade halvmiljöer.

Semicorex sic-rör använder en hög renhet finkornkiselkarbidDet tillverkas för att ha exceptionell mekanisk stabilitet med högtemperatur som ett resultat av avancerade sintring och omkristalliseringsmetoder och tekniker. Aktivering av SIC med hög prestanda resulterar i exceptionell mekanisk styrka och kvarhållning av termisk stabilitet vid höga driftstemperaturer. SIC har exceptionell hårdhet som mildrar slitage eller potentiell deformation.  Dessutom är attribut som är associerade med SIC-egenskaper med låg bränsleeffektiv för termisk expansion är fördelaktiga eftersom de begränsar termisk stress eftersom det kommer att finnas krav för att cykla detta material mellan extrem hög och låg driftsvärme. I alla dessa överväganden har de ett speciellt användbarhet för ideala applikationer i diffusionsugnar, oxidationsugnar och LPCVD/PECVD -system för att upprätthålla maximala stabila processförhållanden är till nytta för att eliminera eller begränsa defekter som också är mätvärden relaterade till skiva eller material med mycket stabila, till och med processförhållanden.

En annan viktig användbarhet av SIC -rör är de höga termiska ledningsprofilerna under specifika förhållanden och tillämpliga ugnsdesign för att producera höga ledningshastigheter och, avgörande, en jämn och stadig fördelning av temperaturen under processen.  Detta pålitliga beteende tillåter att skivor utsätts för semi-lika temperaturfördelningar i rimliga tidsintervall och dessutom för att begränsa termiska gradienter för att mildra plattbottnad förvrängda och/eller defekterade skivor samtidigt som man förbättrar filmförhållandena.

Kemisk stabilitet och resistens är en annan viktig prestandafaktor.  I halvledarprocesser utsätts ugnsrör för påverkan av mycket reaktiva gaser inklusive syre, väte, ammoniak och alla halogener, som kan försämra konventionella material på ett snabbt sätt. Den täta och icke-porösa mikrostrukturen, tillsammans med kemiskt inert natur av SIC, skyddar den mot oxidation och korrosion samtidigt som man levererar operationell och mekanisk prestanda i extrema processmiljö.  SIC -ugnarnas hållbarhet hjälper dem att upprätthålla integriteten i form och dimensionell noggrannhet under långa perioder, vilket är viktigt för processkontroll och stabilitet.

SIC -rör kan tillverkas i ett brett spektrum av storlekar och väggtjocklekar, geometriskt formade för att passa ugnsdesign och processbehov.  Exakta precisionsbearbetningsegenskaper upprätthålls också under utformningen och produktionen av SIC -rör så att operativa toleranser kan vara snäva, med släta inre ytor och utmärkt koncentricitet för att upprätthålla en balans mellan laminärt gasflöde och enhetliga termiska profiler. Ytpolering och beläggningar kan tillhandahållas som behandlingsalternativ som kommer att förbättra prestanda genom att minska partikelproduktionen och förbättra korrosionsbeständighet.

SIC -rör har tydliga drifts- och kostnadsfördelar jämfört med alternativa material som kvarts eller aluminiumoxidrör.  Den initiala kostnaden för SIC -komponenter kan vara något högre, men produktens livslängd, minskningen av brott och lägre underhållskrav resulterar i totala ägandekostnader som är lägre kostnader än alternativa material och rör.

Avslutningen, SemicorexSicRör är det bästa alternativet för halvledarugnsapplikationer, eftersom de ger bästa termiska prestanda, mekanisk styrka, kemisk motstånd och tillförlitlighet för krävande produktionsmiljöer. Detta material förbättrar processstabilitet och hjälper till att besparing och effektivitet på väg (dvs lägre energiförbrukning). SIC -rör är ett grundläggande material för modern halvledartillverkning.