SiC Process Tube

Semicorex SiC (Silicon Carbide) processrör är en specialiserad komponent som används i processer för wafervärmebehandling, särskilt i applikationer som kräver höga temperaturer, korrosiva atmosfärer eller bådadera. Den är utformad för att ge en skyddande och kontrollerad miljö för halvledarskivor under värmebehandling eller termisk bearbetning.

Processröret är noggrant konstruerat för att skapa en förseglad kammare där wafers placeras för värmebehandling. Den fungerar som en barriär och förhindrar direkt kontakt mellan wafers och den omgivande miljön. Denna isolering är avgörande för att bibehålla renheten i processatmosfären och skydda wafers från kontaminering.

Inuti SiC-processröret sker wafervärmebehandlingen. Detta kan innefatta olika processer såsom glödgning, oxidation, diffusion och andra termiska behandlingar som krävs för att modifiera egenskaperna hos wafermaterialet. Rörets egenskaper, såsom dess höga värmeledningsförmåga och motståndskraft mot kemiska angrepp, hjälper till att säkerställa enhetlig temperaturfördelning och skydd av wafers.

SiC-processrör är kritiska komponenter i processer för wafervärmebehandling. Deras högtemperaturbeständighet, kemiska tröghet och förmåga att skapa en kontrollerad miljö säkerställer ett framgångsrikt genomförande av termiska bearbetningssteg, vilket leder till produktion av högkvalitativa halvledarskivor.