SiC reflektor

Semicorex SiC-reflektor är känd för sin exceptionella värmeledningsförmåga, höga reflektionsförmåga och oöverträffade hållbarhet, vilket gör dem oumbärliga i halvledarindustrin.

En SiC-reflektor är en specialiserad optisk komponent utformad för att reflektera ljus och termisk energi i halvledartillverkningsprocesser. Kiselkarbid (SiC) är en förening av kisel och kol, känd för sina enastående fysikaliska och kemiska egenskaper. Reflektorerna tillverkade av SiC är konstruerade för att motstå extrema förhållanden, vilket gör dem idealiska för applikationer där höga temperaturer, korrosiva miljöer och högenergifotoner förekommer.

En av de viktigaste fördelarna med SiC-reflektor är deras överlägsna värmeledningsförmåga. SiC-material har en värmeledningsförmåga som är flera gånger högre än traditionella material som aluminiumoxid (Al2O3) eller kvarts. Denna egenskap möjliggör effektiv värmeavledning, förhindrar överhettning och säkerställer stabil prestanda även under höga temperaturer.

SiC-reflektor uppvisar utmärkt reflektivitet, särskilt i ultravioletta (UV) och infraröda (IR) spektra. Denna höga reflektionsförmåga säkerställer att den maximala mängden ljus omdirigeras mot målområdet, vilket förbättrar effektiviteten i halvledarprocesser som fotolitografi, snabb termisk bearbetning (RTP) och kemisk ångavsättning (CVD).

Kiselkarbid är känt för sin hårdhet och motståndskraft mot slitage. SiC-reflektorer är mycket hållbara, kan motstå mekaniska påfrestningar och resistenta mot kemisk korrosion. Denna hållbarhet leder till en längre livslängd, vilket minskar frekvensen av byten och underhåll, och i slutändan sänker den totala ägandekostnaden.