SIC Robot Hands

Semicorex SIC Robot Hands är de senaste inom sluteffektorer som är utformade för robotskivda överföringsapplikationer inom området halvledartillverkning. Tillverkad med högpresterande material konstruerade vi dessa robothänder med kiselkarbid (SIC) keramik för att ge maximal termisk tabulering, kemisk stabilitet och mekanisk styrka för en allt hårdare miljö med skivtillverkning eller hantering.

Centralt för våra SIC -robothänder är vår egenutvecklade avanceradekiselkarbidKänd för sin höga hårdhet (Mohs 9), hög värmeledningsförmåga och korrosionsbeständighet. Till skillnad från traditionella material som aluminium eller rostfritt stål är SIC kompatibel med den hårda bearbetningsmiljön i halvledarens renrum inklusive bearbetade höga temperaturer och reaktiva gaser. Vi erbjuder långsiktig hållbarhet och minimerar föroreningar, i överensstämmelse med den strikta renheten som krävs för skivtillverkning.

Halvledarutrustning med SIC -robothänder använder sug med negativt tryck för att erhålla skivan, dvs halvledarskivan adsorberas på kvarts eller keramisk finger med användning av sugkoppprincipen följt av transport med användning av en mekanisk actionarm som sträcker sig, roterar respektive lyftrörelser.

"Hög hastighet" och "renlighet" är kärnegenskaperna för halvledarhanteringsutrustning. För att uppfylla dessa egenskaper har utrustningen extremt stränga krav på prestanda för de använda komponenterna. Eftersom de flesta processer genomförs i vakuum, hög temperatur och frätande gasmiljö, måste hanteringsarmen som används i utrustningen ha utmärkta fysiska egenskaper, såsom: hög mekanisk styrka, korrosionsbeständighet, hög temperaturbeständighet, slitbeständighet, hög hårdhet, isolering, etc. och avancerade keramiska material kan bara uppfylla dessa förhållanden.

Kiselkarbid keramikHa de fysiska egenskaperna hos tät struktur, hög hårdhet, hög slitmotstånd, samt god värmemotstånd, utmärkt mekanisk styrka, god isolering i hög temperaturmiljö, god korrosionsmotstånd och andra fysiska egenskaper. Det är ett utmärkt material för att göra halvledarutrustningshanteringsarmar.

Genom att erkänna att robotplattformar varierar mellan FAB: er och verktygstillverkare är våra SIC -robothänder tillgängliga i en rad standardiserade storlekar och kan anpassas för unika verktygskonfigurationer. Monteringsgränssnitt, fingergeometrier och supportfunktioner kan skräddarsys för att möta specifika utrustning och processbehov. Oavsett om du överför skivor inom klusterverktyg, vakuumkamrar eller foupsystem, integreras våra robothänder sömlöst med ledande robotmärken.

Varje SIC -robothand genomgår rigorös rengörings-, inspektions- och förpackningsförfaranden för att säkerställa efterlevnad av renrumsstandarder för klass 1. Den icke-porösa, antistatiska ytan av SIC reducerar partikeladhesion, medan den robusta strukturen motstår mikrofrakturer som kan leda till partikelproduktion över tid. Detta gör dem idealiska för front-end skivprocesser där även den minsta föroreningen kan leda till enhetsfel.

Från Epitaxy- och Ion -implantation till PVD, CVD och CMP är SIC -robothänderna litade på i varje steg i tillverkarenhetstillverkning. Deras överlägsna resistens mot termiska chock- och plasmamiljöer gör dem oumbärliga i avancerade logik- och krafthalvledarlinjer, särskilt när SIC -skivsubstrat används.