Sic vertikala båtar

Semicorex Sic Vertical Boats är konstruerade skivbärare, designade och tillverkade för att tillhandahålla den högsta termiska, mekaniska och kemiska stabiliteten för vertikal ugns halvledarbearbetning. Konstruerad av hög renhetkiselkarbid, vi tror att de är den bästa balansen i styrka, hållbarhet och renlighet för mycket avancerad termisk bearbetning av skivor, noterade som oxidation, diffusion, LPCVD och glödgning i vertikala ugnssystem.

De vertikala ugnsbehandlingsmiljöerna kräver ett skivstödssystem som tål upprepade exponeringar vid hög temperatur, ofta överstiger 1 200 ° C och förblir dimens-sionally stabila utan föroreningsproblem. Sic vertikala båtar utmärker sig i sin robusthet i dessa situationer på grund av de inneboende mekaniska och termiska egenskaperna hos omkristalliserade eller CVD -kiselkarbid. Deras extremt låga termiska expansionskoefficient säkerställer minimal varpage eller distorsion på grund av snabb termisk cykling. Dessutom erbjuder den höga värmeledningsförmågan den största lokala temperaturhomogeniteten över alla skivor, vilket är avgörande för skivor-till-wafer-konsistens i skikttjocklek, dopningsprofiler och elektrisk prestanda; Viktiga aspekter av högvolymtillverkning i halvledarindustrin.

Jämfört med traditionella kvartsbåtar levererar Sic vertikala båtar överlägsen mekanisk styrka och förlängd livslängd. Quartz tenderar att bli spröd och avveckla över tid, särskilt i aggressiva ugnskemister, vilket leder till högre ersättningskostnader och potentiella produktionsavbrott. Däremot upprätthåller kiselkarbid sin integritet även efter långvarig exponering för frätande gaser såsom klor, HCl eller ammoniak, som är vanliga i olika diffusions- och LPCVD -processer. Dess exceptionella slitage och oxidationsmotstånd minskar i hög grad partikelproduktion, vilket hjälper till att skydda skivytor från kontaminering och defektbildning.

SIC vertikala båtar erbjuder också en betydande fördel när det gäller ultra-ren bearbetning. SIC-material med hög renhet bearbetas under strikt flit för att minska identifierbara spårförorenande metaller som kan störa de operativa egenskaperna hos halvledaranordningar. Sic vertikala båtytor är väl färdiga med högervinklade funktioner som minimerar risken för mikropartiklar. SIC -ytor är kemiskt inerta och reagerar inte med processgaser och är därför mindre benägna att förorena. I detta avseende är SIC -vertikala båtar väl lämpade för den främre änden av linjen (Feol) och baksidan av linjen (beol) skivbehandlingsoperationer.

Sic vertikala båtar erbjuder också designflexibilitet. Varje vertikal båt kan vara konstruktionsspecifik för att rymma flera skivdiametrar (150 mm, 200 mm eller 300 mm skivor) och spårnummer och avstånd kan användas för att uppfylla processkraven. Precisionsbearbetning och dimensionell kontroll möjliggör korrekt skivinriktning och skivstöd som minimerar sannolikheten för mikroskrackar eller stresssprickor under belastning, bearbetning och lossning. Om överlägsen temperaturens enhetlighet och / eller mindre termisk massa krävs för en viss process, kan optimerade geometrier och spelautomater införlivas i SIC -vertikala båtkonfigurationer, utan att offra några mekaniska egenskaper.

En annan fördel är underhåll och driftseffektivitet. Den styva konstruktionen avSicVertikala båtar minskar ersättningstiden och frekvensen och minimerar därmed driftstopp eller ägandekostnad. Den termiska chockmotståndet hos SIC möjliggör kortare cykler av uppvärmning och kylning för att leverera högre genomströmning på produktionslinjer. Underhåll eller rengöring av SIC -vertikala båtar är också mycket enkelt; Materialet kan uthärda de flesta konventionella våta eller kemtvättprocesser som är vanliga i halvledarbiskar såsom kemisk rengöring med syror och högtemperaturbake-out.

I denna moderna tid av sofistikerad halvledartillverkning där avkastningsförbättring, kontamineringskontroll och stabilitet i processen har all betydelse, erbjuder SIC vertikala båtar en verklig teknisk fördel. De hanterar de fysiska och kemiska utmaningarna i vertikala ugnsapplikationer och bidrar till den övergripande processoptimeringen genom att leverera skivintegritet, konsekventa resultat och längre livslängd.