Semicorex tillhandahåller waferbåtar, piedestaler och skräddarsydda waferbärare för både vertikala/pelare och horisontella konfigurationer. Vi har varit tillverkare och leverantör av kiselkarbidbeläggningsfilm i många år. Vår SiC Wafer Boat har en bra prisfördel och täcker de flesta europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Vi presenterar vår högkvalitativa SiC Wafer Boat, designad för att tillhandahålla en pålitlig lösning för waferbearbetning i olika industrier. Dessa keramiska piedestaler är tillverkade av keramik med hög renhet, som erbjuder utmärkt motståndskraft mot termisk chock, nötning och kemisk korrosion, vilket gör dem idealiska för tuffa miljöer för bearbetning av skivor.
Våra SiC Wafer-båtar är också mycket anpassningsbara, och vi kan arbeta med dig för att skapa anpassade piedestaler för att möta dina unika specifikationer. Vi är stolta över vår förmåga att leverera högkvalitativa, pålitliga produkter som uppfyller våra kunders krav. Våra keramiska waferbåtar är gjorda för att hålla och erbjuda en lång livslängd, vilket säkerställer att du får ut det mesta av din investering.
Beställ nu och upplev fördelarna med vår högkvalitativa SiC Wafer Boat i din waferbearbetningsverksamhet.
Parametrar för SiC Wafer Boat
Tekniska egenskaper |
||||
Index |
Enhet |
Värde |
||
Materialnamn |
Reaktionssintrad kiselkarbid |
Trycklös sintrad kiselkarbid |
Omkristalliserad kiselkarbid |
|
Sammansättning |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Bulkdensitet |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Böjningsstyrka |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100 (1400°C) |
Kompressionsstyrka |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Hårdhet |
Knapp |
2700 |
2800 |
/ |
Breaking Tenacity |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Värmeledningsförmåga |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Koefficient för termisk expansion |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Specifik värme |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Max temperatur i luft |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Elastisk modul |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Funktioner hos SiC Wafer Boat
- CVD Silicon Carbide beläggningar för att förbättra livslängden.
- Värmeisolering gjord av högpresterande renat styvt kol.
- Har en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.
- Högren keramik och SiC-beläggning för hålbeständighet och längre livslängd