Kiselkarbidbåtar

Semicorex kiselkarbidbåtar uppvisar exceptionell termisk stabilitet, vilket gör att de kan motstå de extrema temperaturer som krävs för oxidations- och diffusionsprocesser. Deras utmärkta termiska chockmotstånd minimerar risken för sprickbildning eller deformation, vilket säkerställer långvarig driftslängd. SIC-kompositionen med hög densitet ger överlägsen mekanisk styrka och upprätthåller strukturell integritet även under kontinuerlig termisk cykling. Detta exceptionella motstånd mot mekanisk stress minskar sannolikheten för skivaföroreningar och brott, vilket bidrar till högre processutbyten. Vidare har SIC -båtar enastående kemisk resistens, som förblir inert för aggressiva processgaser som används i oxidations- och diffusionssteg. Denna karakteristik förhindrar oönskade reaktioner som kan kompromissa med renhet och produktionseffektivitet.

Kiselkarbidbåtar används främst i oxidations- och diffusionsugnar, där exakt kontroll över exponering för skiva för höga temperaturer och reaktiva gaser är viktigt. De stöder skivor under termisk oxidation för att odla högkvalitativt kiseldioxidskikt och underlätta enhetlig doping genom kontrollerad exponering för dopande gaser. Dessutom tillhandahåller de en stabil plattform för glödgning och andra högtemperaturbehandlingar som kräver långvarig värmeexponering.

Jämfört med traditionella kvarts- och grafitbåtar erbjuder kiselkarbidbåtar oöverträffad hållbarhet, livslängd och prestanda. Deras förmåga att motstå hårda termiska och kemiska miljöer medan de minimerar föroreningar gör dem till det föredragna valet för högkonditionstillverkning. Med fokus på kvalitet och innovation levererar våra kiselkarbidbåtar överlägsen prestanda, vilket säkerställer höga utbyten och effektiv skivbehandling för halvledartillverkare över hela världen. Oavsett om det är avancerade nodteknologier eller äldre halvledartillverkning, ger dessa båtar en pålitlig lösning för att uppfylla stränga branschkrav.

(1) Bär och skydd: Silikonkarbidbåtarna bär halvledarmaterial som skivor genom dess inre konsoler eller spår och använder hög temperatur och korrosionsbeständighet hos kiselkarbidmaterial för att skydda skivorna från den yttre miljön.

(2) Enhetsuppvärmning: Silikonkarbidbåten tillåter att skivorna inuti värmas jämnt under värmebehandlingsprocessen. Detta hjälper till att säkerställa att temperaturen och reaktionshastigheten för varje del av skivan förblir konsekvent under värmebehandlingsprocessen och därigenom förbättrar skivans utbyte och kvalitet.

Det finns för närvarande tre huvudtyper avkeramikMaterial: Sintring av reaktion, trycklös sintring och omkristallisationssintring. I de flesta tillämpningar är reaktionssintrad kiselkarbid en mer lämplig och kostnadseffektiv produkt. Omkristalliserade SIC-båtar sitter vanligtvis och bearbetar flera enhetsdelar först, använd sedan Si-pasta för att kombinera delarna i en båt vid hög temperatur och tillämpas slutligen CVD-SIC-beläggning (cirka 100um). Eftersom omkristallisering är porös, om det inte finns någon SIC -beläggning, kommer den också att införa partikaler i halvledarprocessen. Denna typ av omkristalliserad SIC-båt med CVD-SIC-beläggning har den längsta tillverkningsprocessen och är mycket dyr. Jämfört med SIC-belagda grafitbåtar har CVD-SIC-belagda omkristalliserade SIC-båtar inget CTE-missanpassningsproblem.