Fribärande paddlar av kiselkarbid

Semicorexfribärande paddlar av kiselkarbid används vanligtvis med horisontella waferbåtar i högtemperaturbearbetningsugnar. De kan säkerställa exakt, smidig överföring av waferbåtar in i och ut ur ugnsrör, vilket ger ett starkt stöd för stabiliteten och utbytet av halvledartillverkning. Semicorex fribärande paddlar av kiselkarbid är speciellt utformade för högtemperaturbehandling och presterar stadigt vid cirka 1250°C under en hård arbetsatmosfär som består av syre (reaktionsgas), kväve (skyddsgas) och en liten mängd väteklorid.

Materialval av hög standard

Premiumprodukter är beroende av fina råvaror. Semicorex använder kiselkarbidråmaterial av hög renhet för att säkerställa att våra fribärande paddlar av kiselkarbid håller högsta kvalitet inom branschen. Deras baser är gjorda av högkvalitativ reaktionsbunden kiselkarbid med föroreningshalt kontrollerat under 100 ppm och deras ytor är täckta med en CVD SiC-beläggning där föroreningar hålls under 1 ppm. Dessa högstandardmaterial som gör Semicorex fribärande paddlar i kiselkarbid ger utmärkta egenskaper som anges nedan.

1. Ultrahög renlighet:Semicorexkiselkarbidfribärande paddlar har hög renhet och släpper inte ut oönskade föroreningar under drift, vilket i grunden eliminerar kontaminering av wafers och processugnar.

2. Stabil termisk stabilitet:Semicorexfribärande paddlar av kiselkarbid fungerar tillförlitligt vid 1250°C och tål skarpa temperaturförändringar när de går in och ut ur ugnen, fria från deformation eller sprickbildning.

3. Överlägsen mekanisk styrka:Semicorexfribärande paddlar av kiselkarbid har hög hårdhet och styrka och tål slitage och repor under frekventa tryck- och dragoperationer.

4. Pålitlig korrosionsbeständighet:Semicorexfribärande paddlar av kiselkarbidkan motstå svår korrosion av starka alkalier och syror tack vare sin anmärkningsvärda kemiska stabilitet.

Omtänksam design och precisionsbearbetning

Semicorexanvänder den inbyggda 3D-utskriftstekniken för att forma fribärande paddlar av kiselkarbid, vilket gör dem fria från svaga spänningspunkter vid lederna, vilket ger pålitlig belastningskapacitet under drift. Den stöder också fulldimensionell anpassning av fribärande paddlar av kiselkarbid. Cantilever-paddlar kan skräddarsys exakt i längd, struktur och gränssnittsspecifikation och är tillgängliga för att perfekt matcha ugnsrörsdiametrar, waferbåtsdimensioner, automatiserade lastningssystem och specifika processkrav.