Kassettbåtar av kiselkarbid

Semicorexkiselkarbid kassettbåtarär de oumbärliga bärande komponenterna, med sin stabila och höghållfasta struktur, som säkert och exakt håller, överför och hanterar flera halvledarskivor. De används i stor utsträckning i de olika högtemperaturhalvledarprocesserna för att säkerställa optimerad värme- och gasflödesfördelning för konsekventa bearbetningsresultat.

Noggrant utvald råvara

Precis tillverkade av kiselkarbidpulver av halvledarkvalitet genom högtemperatursintring, har Semicorex kiselkarbidkassettbåtar följande utmärkta egenskaper.

1. Ultrahög renhet:Föroreningshalten i substratet kontrolleras till att vara under 100 PPM, och föroreningsnivån avCVD kiselkarbidbeläggning kan nå mindre än 1 PPM.

2. Pålitlig korrosionsbeständighet:Kiselkarbidkeramik ger stark korrosionsbeständighet, och den är resistent mot korrosion från de flesta syror (som saltsyra, svavelsyra och fluorvätesyra), alkalier (som kaustiksoda), lösningsmedel och oxiderande medier.

3.Exceptionell värmeledningskapacitet:Med exceptionellt termiskt motstånd och en låg värmeutvidgningskoefficient kan kiselkarbidkassettbåtar behålla sina kemiska egenskaper och mekaniska hållfasthet även när de utsätts för långvariga driftsförhållanden vid en hög temperatur runt 1250 °C.

Precisionskonstruerad struktur

1. Horisontell ramstruktur:Den horisontella ramstrukturen på Semicorex kiselkarbidkassettbåtar gör att de passar perfekt till horisontella högtemperaturugnsrör.

2. Jämnt fördelade spårskåror:Semicorex kiselkarbidkassettbåtar har många jämnt fördelade slitsar och kan hålla skivan på plats, vilket avsevärt kan förhindra oönskade repor, nötningar och skador som orsakas av skivförskjutning, vilket effektivt säkerställer halvledarprocessstabilitet och waferutbyte.

3. Multi-slotdesign:Flera slitsar utformade för att bära flera wafers gör det möjligt för Semicorex kiselkarbidkassettbåtar att förbättra sin en-batch-bearbetningsgenomströmning och totala produktionseffektivitet.

4. Öppen arkitektur:Semicorex kiselkarbidkassettbåtar är utrustade med den genomtänkta öppna arkitekturen, som kan bidra till att uppnå enhetlig gasfördelning och tillräcklig reaktionskontakt, vilket därigenom effektivt minimerar inkonsekventa processresultat.