Kiselkarbid keramiska fribärande paddlar

Semicorexkiselkarbid keramiska fribärande paddlarproduceras genom högtemperatursintring av den enstegs 3D-printade gröna kroppen, följt av beläggningsbehandling via kemisk ångavsättning. Under den faktiska driften aktiveras kiselkarbidkeramiska fribärande paddlar av de mekaniska automationssystemen för att smidigt och stadigt överföra waferbärande komponenter till och ut ur högtemperaturbearbetningsutrustning (såsom oxidationsugnar, diffusionsugnar, CVD-ugnar, etc.). Dessa kiselkarbidkomponenter kan effektivt säkerställa koncentricitetsnoggrannheten mellan skivorna och ugnsrören, vilket garanterar processlikformighet och stabilitet under kritiska processer som diffusion, oxidation och kemisk ångavsättning.

Prestandan hos Semicorex keramiska fribärande paddlar av kiselkarbid

1. Låg föroreningsprestanda:

Semicorexkiselkarbidkeramiska fribärande paddlar, bearbetade med högprecisionsbehandling, når dammfria och partikelfria standarder. Deras matriser har en föroreningshalt strikt kontrollerad under 300PPM, och föroreningshalten i CVD-kiselkarbidbeläggning är till och med lägre än 5PPM.

2. Hög temperatur stabilitet:

På grund av kiselkarbidens utmärkta högtemperaturbeständighet och termiska stötbeständighet, kan Semicorex keramiska fribärande paddlar av kiselkarbid bibehålla sin strukturella stabilitet vid höga temperaturer upp till 1250°C, utan att deformeras, mjukna eller skadas orsakade av hög temperatur.

3. Exceptionell lastkapacitet:

Semicorex keramiska fribärande paddlar av kiselkarbid ger exceptionell lastkapacitet som drar nytta av deras unika strukturella design och deras överlägsna materialegenskaper (hög mekanisk hållfasthet och hårdhet). Denna exceptionella lastkapacitet gör det möjligt för dem att motstå vikten av stora partier av wafers för att möta behoven för massproduktion, vilket effektivt förbättrar effektiviteten av wafer batch-bearbetning.

4. Anmärkningsvärd korrosionsbeständighet:

Semicorex keramiska fribärande paddlar av kiselkarbid uppvisar utmärkt korrosionsbeständighet mot syre, klor och andra korrosiva ämnen som finns vid höga temperaturer i tillverkningsprocesser för halvledar- och solceller. Denna överlägsna prestanda är avgörande för att säkerställa en smidig drift av produktionsprocesser genom att undvika förluster och tid som orsakas av skador på kiselkarbidkeramiska fribärande paddlar.

Förpackningsmetoden för Semicorex keramiska fribärande paddlar av kiselkarbid