Kiselkarbidkeramikpaddlar installeras typiskt nära ugnsöppningen eller processkammaren, med en ände fixerad och den andra änden sträcker sig in i ugnen eller processkammaren. Under driftbearbetning placerar keramiska paddlar av kiselkarbid exakt den waferbärare som bär wafers på den avsedda platsen inuti ugnen eller processkammaren. Efter bearbetning hämtar de fribärande paddlarna bäraren och flyttar den ut ur ugnen eller kammaren och lämnar över den till robotarmen för nästa steg i hanteringen.

Fördelarna med Semicorex keramiska paddlar av kiselkarbid

1. Överlägsna egenskaper och pålitlig kvalitet

Semicorex keramiska paddlar av kiselkarbid ger utmärkt stabilitet vid hög temperatur, hög hållfasthet, hög hårdhet, kemisk stabilitet och låg värmeutvidgningskoefficient. Med dessa överlägsna egenskaper kan Semicorex keramiska paddlar av kiselkarbid under lång tid motstå de utmanande driftsförhållandena, såsom höga temperaturer, kraftig korrosion, tung belastning och frekvent mekanisk drift.

2. Exakt stöd och transport

Förlitar sig på den utmärkta stöd- och transportprestanda, Semicorexkiselkarbid keramiska paddlarkan exakt fixera waferbärare på plats för att säkerställa koncentriciteten hos wafers i förhållande till ugnsrör, vilket avsevärt minskar processinkonsekvensen som orsakas av waferskakning och felinriktning under processen.

3. Mycket effektiv automatiserad drift

Semicorex keramiska paddlar av kiselkarbid fungerar vanligtvis tillsammans med robotiserade automatiska lastnings- och hanteringssystem för att uppnå snabb lastning och lossning av wafer. Detta förkortar processcyklerna avsevärt inom halvledar- och solcellstillverkning, förbättrar produktionseffektiviteten och minskar manuella driftskostnader och felrisker.

Tillämpningarna av Semicorex keramiska paddlar av kiselkarbid

1. Tillverkning av solceller

Semicorex keramiska paddlar av kiselkarbid är väl lämpade för de termiska processerna i fotovoltaiska celler, såsom diffusion, LPCVD och PECVD av TOPCon- och PERC-celler. Genom att uppnå processens enhetlighet och stabilitet bidrar dessa paddlar till att förbättra effektiviteten för omvandling av fotovoltaiska celler.

2. Tillverkning av halvledarchip

Som de väsentliga stödjande och transporterande komponenterna används Semicorex keramiska paddlar av kiselkarbid i större utsträckning i processer som litografi, etsning och deponering under tillverkning av halvledarchips, vilket möjliggör konstant stabil överföring och exakt positionering av wafers.