Silicon Carbide Keramiska Wafer Båt

Semicorex tillhandahåller waferbåtar, piedestaler och skräddarsydda waferbärare för både vertikala/pelare och horisontella konfigurationer. Vi har varit tillverkare och leverantör av kiselkarbidbeläggningsfilm i många år. Vår kiselkarbid keramiska waferbåt har en bra prisfördel och täcker de flesta europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Semicorex keramisk waferbåt av kiselkarbid, den ultimata lösningen för waferhantering och skydd vid halvledartillverkning.
Vår keramiska waferbåt av kiselkarbid är tillverkad av högkvalitativt material belagt med ett lager av kiselkarbid (SiC) som används CVD-metoden, som har god motståndskraft mot korrosion och utmärkt motståndskraft mot höga temperaturer och termisk chock. Avancerad keramik ger utmärkt värmebeständighet och plasmahållbarhet samtidigt som den mildrar partiklar och föroreningar för högkapacitets waferbärare.

Parametrar för kiselkarbid keramisk waferbåt

Tekniska egenskaper
Index	Enhet	Värde
Materialnamn		Reaktionssintrad kiselkarbid	Trycklös sintrad kiselkarbid	Omkristalliserad kiselkarbid
Sammansättning		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Böjningsstyrka	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Kompressionsstyrka	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hårdhet	Knapp	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Värmeledningsförmåga	W/m.k	95	120	23
Koefficient för termisk expansion	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Specifik värme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elastisk modul	Gpa	360	410	240

Skillnaden mellan SSiC och RBSiC:

1. Sintringsprocessen är annorlunda. RBSiC ska infiltrera fritt Si i kiselkarbid vid låg temperatur, SSiC bildas genom naturlig krympning vid 2100 grader.

2. SSiC har slätare yta, högre densitet och högre hållfasthet, för vissa tätningar med strängare ytkrav blir SSiC bättre.

3. Olika använd tid under olika PH och temperatur, SSiC är längre än RBSiC

Funktioner hos kiselkarbidkeramisk waferbåt

Överlägsen värmebeständighet och termisk enhetlighet
Fin SiC-kristallbelagd för en slät yta
Hög hållbarhet mot kemisk rengöring
Materialet är utformat så att sprickor och delaminering inte uppstår.