Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom silicon Carbide wafer båt, cantilever paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbehandlingstillämpningar som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Semicorex Alumina Fastener är en integrerad del av konstruktionen av utrustning som används vid kemisk ångavsättning (CVD), jonimplantation, fotolitografi och halvledartillverkning.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Pump Shaft utmärker sig för sin oöverträffade prestanda och tillförlitlighet som en integrerad komponent i magnetiska pumpar, skärmpumpar, flerstegspumpar, hydraulpumpar, kemikaliepumpar och centrifuger.
Läs merSkicka förfråganDesignad för att motstå extrema förhållanden, AlN Ceramic Crucible som presenteras av Semicorex är ett oumbärligt verktyg för proffs som arbetar med icke-järnmetaller och halvledarmaterial som galliumarsenid.
Läs merSkicka förfråganAlumina Boat by Semicorex hittar sin nisch inom halvledarindustrin, allmänna maskiner och högtemperaturprocesser, vilket visar sig vara oumbärligt för proffs som söker pålitlighet och precision.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Ceramic Plate erbjuder oöverträffad prestanda i miljöer som kräver slitstyrka, korrosionsbeständighet och stabilitet vid hög temperatur. Denna produkt är designad för användning som foderplattor och stöddelar för en mängd olika krävande applikationer.
Läs merSkicka förfråganSemicorex AlN Ceramic Disc utmärker sig som ett material med exceptionell förmåga, prissatt för sin unika kombination av termiska, mekaniska och elektriska egenskaper. På Semicorex ligger vi i framkant när det gäller tillverkning av AlN Ceramic Discs, vilket säkerställer att dessa komponenter uppfyller de stränga kraven från modern teknik och industriella tillämpningar.**
Läs merSkicka förfrågan