Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom kiselkarbidskiva, fribärande paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbearbetningsapplikationer som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Semicorex SiC Vacuum Chuck representerar en höjdpunkt av precisionsteknik skräddarsydd för den krävande halvledarindustrin. Tillverkad av grafitsubstrat och förbättrad genom toppmoderna kemiska ångavsättningstekniker (CVD) integrerar denna innovativa enhet sömlöst de oöverträffade egenskaperna hos Silicon Carbide (SiC) beläggning. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Wafer Chuck står som en höjdpunkt av innovation inom halvledartillverkning, och fungerar som en avgörande komponent i den invecklade processen för tillverkning av halvledartillverkning. Tillverkad med noggrann precision och banbrytande teknik, spelar denna chuck en oumbärlig roll för att stödja och stabilisera kiselkarbidskivor (SiC) under olika produktionsstadier. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Zirconia ZrO2 Robot Arm, en viktig komponent i halvledarbearbetning för sömlös waferöverföring och hantering. Tillverkad för att klara de rigorösa kraven från hög temperatur, frätande och nötande miljöer, denna keramiska arm har oöverträffad hållbarhet och tillförlitlighet. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Zirconia Keramiskt munstycke, tillverkat med noggrann uppmärksamhet på detaljer, detta munstycke står som symbolen för excellens i att kontrollera flödet av både gaser och vätskor med oöverträffad enhetlighet och precision. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Aluminium Nitride Ceramic Chuck representerar en banbrytande lösning för bearbetning av halvledarskivor, speciellt utformad för att säkert hålla wafers på plats under olika tillverkningsstadier. Den här innovativa enheten fungerar som en elektrostatisk chuck (ESC) och utnyttjar de exceptionella egenskaperna hos aluminiumnitridkeramik för att säkerställa exakt och pålitlig kvarhållning av wafer. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganDu kan vara säker på att köpa Aluminium Nitride Wafer Holder från vår fabrik. Semicorex Aluminium Nitride (AlN) Wafer Holder står som en oumbärlig komponent inom halvledarbearbetningen, och fungerar som en central plattform för att säkert hålla ömtåliga wafers under olika tillverkningsstadier. Tillverkad av högkvalitativt aluminiumnitridmaterial, känt för sin exceptionella värmeledningsförmåga, mekaniska styrka och elektriska isoleringsegenskaper, säkerställer denna waferhållare optimala förhållanden för exakta och effektiva halvledartillverkningsprocesser. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfrågan