Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom kiselkarbidskiva, fribärande paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbearbetningsapplikationer som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Semicorex Silicon Nitride Bearing representerar höjdpunkten av teknisk excellens, och erbjuder oöverträffad prestanda och tillförlitlighet i ett brett spektrum av industriella applikationer. Kända för sin exceptionella styrka, hållbarhet och mångsidighet, har Silicon Nitride Bearing blivit det föredragna valet inom olika sektorer, från flyg- och bilindustrin till medicin och tillverkning. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Silicon Nitride Disk representerar en höjdpunkt av materialvetenskaplig innovation, som kombinerar de exceptionella egenskaperna hos kisel och kväve till en mångsidig och robust skivformad form. Tillverkad genom avancerade tillverkningsprocesser, förkroppsligar denna kiselnitridskiva hög termisk stabilitet, överlägsen mekanisk styrka, anmärkningsvärd slitstyrka och utmärkt kemisk tröghet. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Alumina Chuck står som ett hörnstensverktyg inom halvledarbearbetning, noggrant tillverkad av aluminiumoxidkeramik. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Alumina Plate Flange representerar en höjdpunkt av mångsidighet och prestanda inom keramisk ingenjörskonst. Tillverkad av aluminiumoxidkeramik, ett material känt för sina exceptionella egenskaper, förkroppsligar denna fläns en perfekt sammanslagning av robusthet, hög temperaturbeständighet och elektrisk ledningsförmåga. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex diffusionsugnsrör är en avgörande komponent inom halvledartillverkningsutrustning, speciellt utformad för att underlätta exakta och kontrollerade reaktioner som är nödvändiga för halvledartillverkningsprocesser. Som det primära kärlet i reaktionszonen i en halvledarugn spelar diffusionsugnsröret en central roll för att säkerställa integriteten och kvaliteten hos de producerade halvledaranordningarna. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC (Silicon Carbide) Process Tube Liners är avgörande komponenter i produktionen av halvledare i miljöer som kräver höga temperaturer och hög renhetsnivå. Dessa SiC Process Tube Liners är speciellt utformade för att tåla extrema termiska förhållanden och bibehålla höga renhetsnivåer för att säkerställa att halvledartillverkningsprocessen inte äventyras. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfrågan