Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom kiselkarbidskiva, fribärande paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbearbetningsapplikationer som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Semicorex SiC Fine Powder är ett högkvalitativt, ultrafint pulver känt för sin exceptionella renhet och kontrollerade partikelstorleksfördelning. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex High-Purity SiC-båten är tillverkad av kiselkarbid av exceptionell renhet och visar överlägsen termisk stabilitet, mekanisk robusthet och motståndskraft mot kemikalier. Detta materialval är avgörande för att minska potentiell kontaminering, skydda wafers från skada och uthärda de rigorösa förhållanden som uppstår vid halvledartillverkning. Semicorex engagemang för att tillverka och leverera marknadsledande kvalitetsprodukter, kombinerat med konkurrenskraftiga skattemässiga överväganden, befäster vår iver att etablera partnerskap för att uppfylla dina krav på transport av halvledarskivor.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Boat for Wafer Handling är tillverkad av en kiselkarbid av exceptionell renhet och har en konstruktion som inkluderar precisionsslitsar för att säkra wafers, vilket dämpar alla rörelser under operativa procedurer. Valet av kiselkarbid som material säkerställer inte bara hårdhet och motståndskraft utan också förmågan att tåla höga temperaturer och exponering för kemikalier. Detta gör SiC Boat for Wafer Handling till en central komponent i en mängd halvledarproduktionssteg, såsom odling av kristaller, diffusion, jonimplantation och etsningsprocesser.
Läs merSkicka förfråganSemicorex PBN/PG-värmare (Pyrolytic Boron Nitride/Pyrolytic Graphite) är konstruerade av avancerade Boron Nitride-keramiska material, noggrant tillverkade för att motstå extrema temperaturer som överstiger 1700°C. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex PBN Heater Chucks, tillverkade av Boron Nitride keramik, ligger i framkanten av banbrytande värmehanteringslösningar. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Pyrolytic Boron Nitride Heaters representerar toppen av prestanda och tillförlitlighet inom området för högtemperaturapplikationer. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfrågan