Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom silicon Carbide wafer båt, cantilever paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbehandlingstillämpningar som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Semicorex SiC-tätningsdel erbjuder en blandning av exceptionell hårdhet, kemisk beständighet och termisk stabilitet, vilket gör den viktig för krävande industriella applikationer. De avancerade egenskaperna hos SiC Sealing Part säkerställer hållbarhet, tillförlitlighet och effektivitet, vilket förbättrar komponenternas prestanda och livslängd.**
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Boat är en avancerad komponent noggrant designad för halvledartillverkning, speciellt i diffusions- och termiska processer. Med vårt orubbliga engagemang för att tillhandahålla produkter av hög kvalitet till konkurrenskraftiga priser, är vi beredda att vara din långsiktiga partner i Kina.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Wafer Boats är avancerade komponenter noggrant designade för halvledartillverkning, speciellt i diffusions- och termiska processer. Med vårt orubbliga åtagande att tillhandahålla produkter av högsta kvalitet till konkurrenskraftiga priser, är vi redo att bli din långsiktiga partner i Kina.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Wafer Boat är en kritisk komponent i halvledartillverkningsprocessen, speciellt designad för användning i diffusionsprocessen, där den spelar en viktig roll i skapandet av högintegrerade kretsar. Med vårt orubbliga åtagande att tillhandahålla produkter av högsta kvalitet till konkurrenskraftiga priser, är vi redo att bli din långsiktiga partner i Kina.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Ceramic Electrostatic Chuck (ESC) är ett specialiserat verktyg som är noggrant utformat för att möta de rigorösa kraven från halvledartillverkning. Med vårt orubbliga åtagande att tillhandahålla produkter av högsta kvalitet till konkurrenskraftiga priser, är vi redo att bli din långsiktiga partner i Kina.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Electrostatic Chuck (ESC) är en avancerad komponent som används i halvledartillverkning, designad för att säkert hålla halvledarskivor under olika bearbetningssteg. Med vårt åtagande att leverera högkvalitativa produkter till konkurrenskraftiga priser, är vi redo att vara din långsiktiga partner i Kina.*
Läs merSkicka förfrågan