Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom kiselkarbidskiva, fribärande paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbearbetningsapplikationer som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Semicorex hållbara fokusringar för halvledarbearbetning är designade för att motstå de extrema miljöerna i plasmaetsningskammare som används vid halvledarbearbetning. Våra fokusringar är gjorda av högren grafit belagd med en tät, slitstark kiselkarbid (SiC) beläggning. SiC-beläggningen har höga korrosions- och värmebeständighetsegenskaper, samt utmärkt värmeledningsförmåga. Vi applicerar SiC i tunna lager på grafiten med den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD) för att förbättra livslängden på våra fokusringar.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Plasma-bearbetningsfokusring är speciellt utformad för att möta de höga kraven på plasmaetsningsbearbetning inom halvledarindustrin. Våra avancerade kiselkarbidbelagda komponenter med hög renhet är byggda för att motstå extrema miljöer och är lämpliga för användning i olika applikationer, inklusive kiselkarbidskikt och epitaxihalvledare.
Läs merSkicka förfråganSemicorex avancerade SiC Focus Rings med hög renhet är byggda för att motstå extrema miljöer i plasmaetsning (eller torretsning) kammare. Vi fokuserar på halvledarindustrier som kiselkarbidskikt och epitaxihalvledare. Våra produkter har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex är en storskalig tillverkare och leverantör av kiselkarbidbelagd grafit i Kina. Vår MOCVD inloppstätningsring har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner.
Läs merSkicka förfråganSemicorex är en storskalig tillverkare och leverantör av kiselkarbidbelagd grafit i Kina. Våra MOCVD-inloppsringar har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner.
Läs merSkicka förfråganSemicorex är en storskalig tillverkare och leverantör av kiselkarbidbelagd grafitsusceptor i Kina. Vi fokuserar på halvledarindustrier som kiselkarbidskikt och epitaxihalvledare. Vår gasinloppsring för halvledarutrustning har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfrågan