Silicon Carbide Keramiska Wafer båtar

Premium materialval

De utmärkta egenskaperna hos Semicorex kiselkarbidkeramikwaferbåtarär hänförliga till högkvalitativa råvaror. Tillverkade av SiSiC-material av halvledarkvalitet och täckta med en CVD SiC-beläggning, keramiska waferbåtar av kiselkarbid uppvisar följande utmärkta egenskaper.

1.Ultrahög renhet, fri från metallföroreningar

Substratförorening: ＜100 ppm

CVD SiC-beläggningsförorening: ＜1 ppm

2. Överlägsen termisk stabilitet

Båtar av keramisk kiselkarbid kan prestera stadigt i 1250 ℃ högtemperaturförhållanden, vilket ger minimal deformation och krypmotstånd.

3.Hög mekanisk hållfasthet

Kiselkarbidhar hög hårdhet och slitstyrka, vilket gör det möjligt för Semicorex keramiska waferbåtar av kiselkarbid att motstå repor, nötningar och skador, och därmed prestera bra under långvarig drift och vara motståndskraftiga mot skador.

4.Exceptionell korrosionsbeständighet

Eftersom kiselkarbid är resistent mot korrosion från starka syror och alkalier, kan  Semicorex keramiska waferbåtar av kiselkarbid behålla sin strukturella integritet och funktionella prestanda även under mycket korrosiva arbetsförhållanden.

Optimerad strukturell design

Semicorex keramiska waferbåtar av kiselkarbid är designade för batch-wafer-bearbetning, deras optimerade strukturella ram säkerställer stabil batch-wafer-stöd och konsekvent processstabilitet för varje wafer.

1,3-stolpar vertikal stödkonstruktion

Den vertikala strukturen hos Semicorex keramiska waferbåtar av kiselkarbid gör det möjligt för dem att sömlöst matcha vertikala ugnstillämpningar. Med denna struktur kan emicorex keramiska waferbåtar av kiselkarbid underlätta homogen cirkulation av processgaser och enhetlig fördelning av termisk energi i högtemperaturugnen.

2. Jämnt fördelade slitsnypor

Semicorex keramiska waferbåtar av kiselkarbid är utrustade med flera precisionsbearbetade slitsar på sina stödstolpar. Deras jämnt fördelade slitsnypor uppnår lämpligt spåravstånd, vilket gör det möjligt för båtar av keramisk kiselkarbid att ordentligt säkra halvledarskivor, och därigenom bidra till att förbättra konsistensen av termiska bearbetningsresultat för wafer.

Med så många utmärkta prestanda och funktioner används Semicorex keramiska waferbåtar av kiselkarbid i stor utsträckning i kärnprocesser för tillverkning av halvledarwafer, såsom oxidation, diffusion, jonimplantation och högtemperaturglödgning.