SiC-beläggning är ett tunt lager på susceptorn genom den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD). Kiselkarbidmaterial ger ett antal fördelar jämfört med kisel, inklusive 10x den elektriska fältstyrkan, 3x bandgapet, vilket ger materialet hög temperatur- och kemikaliebeständighet, utmärkt slitstyrka samt värmeledningsförmåga.
Semicorex tillhandahåller skräddarsydd service, hjälper dig att förnya dig med komponenter som håller längre, minskar cykeltiderna och förbättrar avkastningen.
SiC-beläggning har flera unika fördelar
Hög temperaturbeständighet: CVD SiC-belagd susceptor kan motstå höga temperaturer upp till 1600°C utan att genomgå betydande termisk nedbrytning.
Kemisk beständighet: Kiselkarbidbeläggningen ger utmärkt motståndskraft mot ett brett spektrum av kemikalier, inklusive syror, alkalier och organiska lösningsmedel.
Slitstyrka: SiC-beläggningen ger materialet utmärkt slitstyrka, vilket gör det lämpligt för applikationer som involverar högt slitage.
Värmeledningsförmåga: CVD SiC-beläggningen ger materialet hög värmeledningsförmåga, vilket gör det lämpligt för användning i högtemperaturapplikationer som kräver effektiv värmeöverföring.
Hög hållfasthet och styvhet: Den kiselkarbidbelagda susceptorn ger materialet hög styrka och styvhet, vilket gör det lämpligt för applikationer som kräver hög mekanisk hållfasthet.
SiC-beläggning används i olika applikationer
LED-tillverkning: CVD SiC-belagd susceptor används vid tillverkning av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup-UV LED, på grund av dess höga värmeledningsförmåga och kemiska motstånd.
Mobil kommunikation: CVD SiC-belagd susceptor är en avgörande del av HEMT för att slutföra den epitaxiella GaN-on-SiC-processen.
Halvledarbearbetning: CVD SiC-belagd susceptor används i halvledarindustrin för olika applikationer, inklusive waferbearbetning och epitaxiell tillväxt.
SiC-belagda grafitkomponenter
Tillverkad av Silicon Carbide Coating (SiC) grafit, appliceras beläggningen med en CVD-metod på specifika kvaliteter av högdensitetsgrafit, så att den kan arbeta i högtemperaturugnen med över 3000 °C i en inert atmosfär, 2200 °C i vakuum .
Materialets speciella egenskaper och låga massa möjliggör snabba uppvärmningshastigheter, jämn temperaturfördelning och enastående precision vid kontroll.
Materialdata för Semicorex SiC Coating
Typiska egenskaper |
Enheter |
Värderingar |
Strukturera |
|
FCC β-fas |
Orientering |
Bråkdel (%) |
111 föredras |
Bulkdensitet |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhet |
Vickers hårdhet |
2500 |
Värmekapacitet |
J kg-1 K-1 |
640 |
Termisk expansion 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngs modul |
Gpa (4pt böj, 1300 ℃) |
430 |
Kornstorlek |
μm |
2~10 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Felexural styrka |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Värmeledningsförmåga |
(W/mK) |
300 |
Slutsats CVD SiC-belagd susceptor är ett kompositmaterial som kombinerar egenskaperna hos en susceptor och kiselkarbid. Detta material har unika egenskaper, inklusive hög temperatur- och kemikaliebeständighet, utmärkt slitstyrka, hög värmeledningsförmåga och hög hållfasthet och styvhet. Dessa egenskaper gör det till ett attraktivt material för olika högtemperaturapplikationer, inklusive halvledarbearbetning, kemisk bearbetning, värmebehandling, solcellstillverkning och LED-tillverkning.
Semicorex MOCVD Wafer Carriers for Semiconductor Industry är en top-of-the-line bärare designad för användning i halvledarindustrin. Dess högrena material säkerställer jämn termisk profil och laminärt gasflödesmönster, vilket ger högkvalitativa wafers.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Coated Plate Carriers för MOCVD är en högkvalitativ bärare designad för användning i halvledartillverkningsprocessen. Dess höga renhet, utmärkta korrosionsbeständighet och till och med termiska profil gör den till ett utmärkt val för dem som letar efter en bärare som klarar kraven från halvledartillverkningsprocessen.
Läs merSkicka förfråganSemicorex är ett pålitligt namn inom halvledarindustrin som tillhandahåller högkvalitativ MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor. Vår produkt är designad för att möta de specifika behoven hos halvledartillverkare som letar efter en bärare som kan leverera utmärkt prestanda, stabilitet och hållbarhet. Kontakta oss idag för att lära dig mer om vår produkt och hur vi kan hjälpa dig med dina behov av halvledartillverkning.
Läs merSkicka förfråganSemicorex MOCVD Satellite Holder Plate är en enastående bärare designad för användning inom halvledarindustrin. Dess höga renhet, utmärkta korrosionsbeständighet och till och med termiska profil gör den till ett utmärkt val för dem som letar efter en bärare som klarar kraven från halvledartillverkningsprocessen. Vi har åtagit oss att förse våra kunder med högkvalitativa produkter som uppfyller deras specifika krav. Kontakta oss idag för att lära dig mer om vår MOCVD-satellithållarplatta och hur vi kan hjälpa dig med dina behov av halvledartillverkning.
Läs merSkicka förfråganDu kan vara säker på att köpa SiC Coating Graphite Substrate Wafer Carriers för MOCVD från vår fabrik. På Semicorex är vi en storskalig tillverkare och leverantör av SiC Coated Graphite Susceptor i Kina. Vår produkt har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi strävar efter att förse våra kunder med högkvalitativa produkter som uppfyller deras specifika krav. Vår SiC Coating Graphite Substrate Wafer Carrier för MOCVD är ett utmärkt val för dem som letar efter en högpresterande bärare för sin tillverkning av halvledarprocesser.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC-belagda grafitbassusceptorer för MOCVD är bärare av överlägsen kvalitet som används i halvledarindustrin. Vår produkt är designad med högkvalitativ kiselkarbid som ger utmärkt prestanda och långvarig hållbarhet. Denna bärare är idealisk för användning i processen att odla ett epitaxiellt lager på waferchipset.
Läs merSkicka förfrågan