Processrör av kiselkarbid

Semicorex Silicon Carbide Process Tube är en avgörande komponent inom halvledartillverkningen, speciellt designad för användning i vertikala ugnar som används i olika halvledarbearbetningstillämpningar såsom RTP, diffusion. Detta specialiserade rör spelar en avgörande roll för att underlätta den kontrollerade och exakta värmebehandlingen av halvledarskivor under deras resa genom kritiska tillverkningsprocesser.

Detta kiselkarbidprocessrör är konstruerat av högren kiselkarbid och uppvisar exceptionell värmeledningsförmåga, motståndskraft mot extrema temperaturer och enastående mekanisk styrka. Dess unika materialegenskaper gör den till ett idealiskt val för applikationer som kräver förhöjda temperaturer och hårda kemiska miljöer som vanligtvis förekommer vid halvledarbearbetning.

I den vertikala ugnen ger kiselkarbidprocessröret en skyddande och kontrollerad atmosfär för halvledarskivor när de genomgår processer som RTP. RTP involverar snabba uppvärmnings- och nedkylningscykler som är nödvändiga för aktivering av dopämnen, glödgning och andra termiska behandlingar som är avgörande för tillverkning av halvledarenheter. Kiselkarbidprocessrörets robusta natur säkerställer lång livslängd och tillförlitlighet i sådana krävande termiska och kemiska miljöer, vilket bidrar till den totala effektiviteten och precisionen i halvledartillverkningsprocessen.