Silikonböjda elektroder

Under den avancerade etsningsutrustningen är den kiselkrökta elektroden vanligtvis monterad på toppen av etsningskammaren, vänd mot halvledarskivan. Den krökta kiselelektroden arbetar vanligtvis i samband med den elektrostatiska chucken, Si-fokusringen, Si-kantringen, Si-avgasringen och Si-skärmningsringen för att ge optimala driftsförhållanden för högprecisionsetsning.

Funktioner hos Semicorex kiselböjda elektroder

1. Kompatibel med komplex 3D-strukturetsning

Med exceptionell 3D-funktion för elektrisk fältkontroll, Semicorexkisel böjda elektroderkan perfekt matcha de geometriska egenskaperna hos komplexa strukturer. Den speciella böjda designen möjliggör exakt plasmakontroll och optimerad energifördelning, vilket avsevärt påverkar bildförhållandet och sidoväggens vertikalitet för 3D-strukturetsning och helt uppfyller produktionslinjekraven för avancerade förpackningsprocesser och 3D IC-integration.

2. Exakt kontroll av Etch-gasdistributionen

Semicorex kiselkrökta elektroder har flera likformigt fördelade mikrohål på sin yta så att etsgas kan komma in i etsningskammaren. Semicorex kiselkrökta elektroder kan uppnå exakt kontroll på etsgas och tillåta den att fördelas jämnt i etsningskammaren, och därigenom minimera processvariationer orsakade av ojämn gasfördelning.

Fördelar med Semicorex kiselböjda elektroder

1. Ultrahög renhet

Semicorex kisel böjda elektroder är gjorda av ultrahög renhet enkristallkiselmed en renhetsnivå över 99,9999999 %, vilket ger överlägsen motståndskraft mot plasmaerosion. Detta materialval av hög standard kan effektivt undvika oönskad kontaminering till följd av etsande biprodukter samtidigt som livslängden för kiselböjda elektroder avsevärt förlängs.

2. Utmärkta elektriska egenskaper

Tillverkade av MCZ-odlat enkristallkisel, Semicorex kiselböjda elektroder uppvisar enastående resistivitetslikformighet: ＜5 %, och ett brett valbart resistivitetsområde: lågupplösning. (<0,02), medeluppl. (1–4) och högupplösning. (70–90).

3. Precisionsbearbetningsnoggrannhet

Genom mekanisk bearbetning med hög precision uppnår Semicorex kiselböjda elektroder konsekvent porstorlek och enhetlig hålfördelning. Deras ytor är finpolerade och slipade: polerade (Ra < 0,1 μm) och slipade (Ra < 1,6 μm), med den totala bearbetningsprecisionen kontrollerad inom 0,03 mm.