Silicon Wafer Båt

Semicorex kan anpassa kiselwaferbåtens struktur, inklusive spårstångsform, spårtandslängd, form, lutningsvinkel och total waferlastkapacitet, och kan tillverkas enligt kundens krav. Silikonbåtar med hög temperatur kan effektivt minska kontaktskador på kiselskivor och förbättra processutbytet. Dess högtempererade "halkfria torn"-design stöder wafers endast vid spetsen av stödtanden. Jämfört medkiselkarbidkisel har en relativt låg hårdhet, vilket minskar mekanisk skada på wafers, vilket förbättrar gitterpasshastigheten och effektivt minskar produktionskostnaderna. Den smälta silikonbåten består av flera delar: tänder, bottenplatta och toppplatta, som är sammansmälta. Detta minskar produktionskostnaderna. Vid partiella skador kan de skadade delarna bytas ut utan att hela kiselbåten byts ut, vilket avsevärt minskar ägandekostnaderna under användning. Dessutom har kiselbåten en stor övre gräns för polykiselavsättning, vilket effektivt kan minska frekvensen av PM-utrustning och förbättra produktionskapaciteten.

Semicorex Silicon Wafer Boat är en innovativ, specialdesignad waferbärare. Den är speciellt skapad för högtemperaturugnsbearbetning som används i halvledarindustrin, inklusive oxidations- och reduktionsprocesser vid temperaturer mellan 1200 och 1250 °C. Silicon Wafer Boat har prestandafördelar som inte är tillgängliga i kiselkarbidmaterial (SiC), och ger fördelar som är relevanta för de rigorösa processer som halvledartillverkning kräver. För det första är den ultrahöga renheten hos kiselmaterialet betydande; i själva verketsilikonmaterialuppnår ultrahöga renhetsnivåer på över 9N (99,9999999%), vilket säkerställer att inga metalliska eller främmande föroreningar kommer att kontaminera waferbearbetningen. Detta är avgörande för ledande tillverkning av halvledarenheter där prestandatillförlitlighet och kapacitet påverkas kraftigt av kontaminering. Silicon Wafer Boat ger en ultraren miljö med en hög renhetsnivå som lämpar sig för de mest avancerade industrikraven för hantering av wafers som utsätts för mycket höga temperaturer för oxidations- och reduktionsbearbetning.

En annan fördel medsilikonmaterialär dess lägre hårdhetsegenskaper jämfört med SiC-material. SiC-stänger eller -båtar är kända för hårdhet och styrka, men själva egenskapen kan leda till svårigheter under waferbearbetning. Vid höga temperaturer kommer skivorna att mikroröra sig; de kommer att studsa något, skifta något och kanta skeva medan de är inne i båten. Ett hårdare SiC-material kan utgöra högre risker för att generera partiklar eller repor på baksidan av wafern eftersom egenskaperna hos wafern och båten interagerar under dessa högtemperaturbearbetningsförhållanden.

Kisel erbjuder god stabilitet och mekanisk styrka vid höga temperaturer, vilket gör att båten kan fungera tillförlitligt under upprepade ugnscykler. Materialet motstår vridning under uppvärmnings- och nedkylningscykler, och bibehåller således exakt waferplacering och positioneringstolerans även under snabba ugnscykler. Denna termiska robusthet ger pålitliga processresultat som är tillräckligt konsekventa för högvolymproduktion med minimal variation mellan körningarna. Silicon Wafer Boat är konstruerad med hög dimensionell precision för att säkerställa konsekvent waferpositionering och placering. Båten är tillverkad med avancerad bearbetning och polering för att skapa släta ytor, tät geometri och snäva toleranser.

Kisel erbjuder god stabilitet och mekanisk styrka vid höga temperaturer, vilket gör att båten kan fungera tillförlitligt under upprepade ugnscykler. Materialet motstår vridning under uppvärmnings- och nedkylningscykler, och bibehåller således exakt waferplacering och positioneringstolerans även under snabba ugnscykler. Denna termiska robusthet ger pålitliga processresultat som är tillräckligt konsekventa för högvolymproduktion med minimal variation mellan körningarna. Silicon Wafer Boat är konstruerad med hög dimensionell precision för att säkerställa konsekvent waferpositionering och placering. Båten är tillverkad med avancerad bearbetning och polering för att skapa släta ytor, tät geometri och snäva toleranser.