Silikonetsringar

Etsringar av kisel är de väsentliga komponenterna i plasmaetsningskammaren i CCP/ICP-etsningsutrustning och är vanligtvis placerade runt halvledarskivan. Deras primära funktioner är att stödja halvledarskivan, bibehålla jämn plasmafördelning, skydda skivans kant och på så sätt bidra till att skapa optimala driftsförhållanden för plasmaetsningsprocessen.

Fördelar med Semicorex silikonetsringar

1. Premium materialval

Semicorex silikonetsringar är tillverkade av den noggrant utvalda MCZ med hög renhetmonokristallint kisel, som erbjuder följande utmärkta egenskaper jämfört med konventionellt CZ monokristallint kisel.

Hög renhet: Renheten är över 99,9999999%, vilket innebär att Semicorex silikonetsringar nästan inte innehåller några föroreningar. Denna ultrahöga renhet kan effektivt undvika störningar från komponentföroreningar under etsningsprocessen, vilket garanterar hög etsningsprecision.

Stabil struktur: MCZ monokristallint kisel har en överlägsen kristallstruktur med lägre defekter än konventionellt CZ monokristallint kisel. Denna stabila kristallstruktur ger Semicorex silikonetsringar förbättrad korrosionsbeständighet mot plasmakorrosion och gör att de kan motstå tuffa etsningsförhållanden.

Utmärkt resistivitetslikformighet:Semicorex silikonetsringarleverera exceptionell motståndslikformighet med RRG < 5 %. Låg upplösning (<0,02 Ω·cm), medelupplösning. (0,2–25 Ω·cm), hög upplösning. (>100 Ω·cm). Denna utmärkta resistivitetslikformighet kan minimera ojämn plasmafördelning orsakad av för hög eller låg resistivitet, vilket bidrar till ett idealiskt elektriskt fält för plasmaetsning med hög precision.

2. Precisionsbearbetning och strikt kvalitetskontroll

Semicorex har ett erfaret tekniskt team som kan tillhandahålla personlig anpassning och tekniska utvärderingar för våra uppskattade kunder och har även etablerat systematiska bearbetnings- och inspektionsprocedurer för att garantera produktkvalitet.

Flexibla anpassningstjänster: Semicorex stöder anpassning baserat på kundritningar, och den maximala anpassade diametern på silikonetsringar kan vara upp till 470 mm.

Ytbehandling av hög standard: Poleringsprecisionen kan kontrolleras strikt inom Ra < 0,1 µm, och finslipning ger en ytfinish på Ra > 0,1 µm.

Strikt kvalitetskontroll: Dimensionell mätning, resistivitetstestning och visuell inspektion kommer att göras för att säkerställa att silikonetsringar är fria från spån, repor, sprickor, fläckar och andra defekter.