Enkelkristall silikon duschmunstycke

Semicorex enkristall silikonduschhuvudvisar exceptionell korrosionsbeständighet, låg expansionskoefficient och utmärkt värmeledningsförmåga. Den är robust anpassad till de tuffa förhållandena med hög temperatur, hög korrosivitet och högt vakuum vid halvledartillverkning och uppvisar exceptionell tolerans mot processgaser som etsnings- och avsättningsgaser. Därför används enkristallduschhuvudet av kisel i stor utsträckning i halvledarrengöringsprocesser, oxidationsprocesser, avsättningsprocesser och etsningsprocesser.

Semicorex använder avancerade ytbehandlingstekniker för att säkerställa att ytan på enkristallduschhuvudet av silikon har både extremt hög planhet och jämnhet. Under tiden, beroende på den standardiserade designen av kanalstruktur och gasväg, är ytan på enkristallsilikonduschhuvudet jämnt fördelad med många porer med samma diameter (minsta diameter kan nå 0,2 millimeter). Pordiametertoleransen för enkristallsilikonduschhuvudet kontrolleras exakt på mikrometernivå, och porens innervägg måste vara slät och fri från grader, vilket säkerställer distributionsnoggrannheten och enhetligheten hos processgasen ur struktur- och processaspekterna.

Semicorex tillhandahåller expertanpassningstjänster för att möta olika kundbehov. Enligt kundernas olika behov kan den skräddarsy utseendelösningar för att passa dimensionerna och formen på deras reaktionskammare. Den optimerade designen gör det möjligt för skivorna att få full och konsekvent kontakt med processgasen under hela reaktionsprocessen genom att garantera att gasen fördelas jämnt i reaktionskammaren. Detta förbättrar i slutändan produktionseffektiviteten och produktkvaliteten.