Silicon Wafer Carrier

Semicorex tillhandahåller keramik av halvledarkvalitet för dina OEM-halvledarverktyg och waferhanteringskomponenter med fokus på kiselkarbidlager i halvledarindustrier. Vi har varit tillverkare och leverantör av Silicon Wafer Carrier i många år. Vår Silicon Wafer Carrier har en bra prisfördel och täcker de flesta europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Halvledaravsättningsprocesser använder en kombination av flyktiga prekursorgaser, plasma och hög temperatur för att skikta tunna filmer av hög kvalitet på wafers. Deponeringskammare och verktyg för waferhantering behöver hållbara keramiska komponenter för att stå emot dessa utmanande miljöer.
Semicorex Silicon Wafer Carrier är kiselkarbid med hög renhet, som har höga korrosions- och värmebeständighetsegenskaper samt utmärkt värmeledningsförmåga.

Parametrar för Silicon Wafer Carrier

Tekniska egenskaper
Index	Enhet	Värde
material namn		Reaktionssintrad kiselkarbid	Trycklös sintrad kiselkarbid	Omkristalliserad kiselkarbid
Sammansättning		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Böjhållfasthet	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100 (1400°C)
Tryckhållfasthet	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hårdhet	Knoop	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Värmeledningsförmåga	W/m.k	95	120	23
Värmeutvidgningskoefficient	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Specifik värme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elasticitetsmodul	Gpa	360	410	240

Skillnaden mellan SSiC och RBSiC:

1. Sintringsprocessen är annorlunda. RBSiC ska infiltrera fritt Si i kiselkarbid vid låg temperatur, SSiC bildas genom naturlig krympning vid 2100 grader.

2. SSiC har slätare yta, högre densitet och högre hållfasthet, för vissa tätningar med strängare ytkrav blir SSiC bättre.

3. Olika använd tid under olika PH och temperatur, SSiC är längre än RBSiC

Funktioner hos Silicon Wafer Carrier

SiC-belagd grafit med hög renhet
Överlägsen värmebeständighet och termisk enhetlighet
Fin SiC-kristallbelagd för en slät yta
Hög hållbarhet mot kemisk rengöring
Materialet är utformat så att sprickor och delaminering inte uppstår.

Tillgängliga former av kiselkarbidkeramikï¼

â Keramisk stav / keramisk stift / keramisk kolv

â Keramiskt rör / keramisk bussning / keramisk hylsa

â Keramisk ring / keramisk bricka / keramisk distans

â Keramisk skiva

â Keramisk platta / keramiskt block

â Keramisk boll

â Keramisk kolv

â Keramiskt munstycke

â Keramisk degel

â Andra anpassade keramiska delar