Semicorex vakuumchuckar är den perfekta lösningen för skivhantering inom halvledar- och precisionsindustrier. Med en mängd olika basmaterialalternativ, anpassningar av keramiska plattor och exakt planhetskontroll, säkerställer våra vakuumchucks tillförlitlig skivstabilitet och utmärkta processresultat. Dessa chucks är utformade för att möta de stränga kraven från modern halvledartillverkning och levererar oöverträffad prestanda och säkerställer att dina processer förblir effektiva och kostnadseffektiva.*
Semicorex vakuumchuckar är precisionskonstruerade lösningar utformade för att ge säker, stabil och effektiv hantering av skivor i halvledarprocesser. Dessa vakuumchuckar används huvudsakligen för att hålla skivor under olika bearbetningssteg, vilket säkerställer minimal skada på skivorna, maximal stabilitet och förbättrad processeffektivitet. Våra vakuumchuckar finns tillgängliga i en mängd olika basmaterial och keramiska plattor, som erbjuder skräddarsydda lösningar för att tillgodose de olika behoven i halvledarindustrin och andra precisionsindustrier.
Nyckelfunktioner och material
Semicorex erbjuder en rad basmaterialalternativ för vakuumchucken, vilket tillåter anpassning baserat på specifika applikationskrav:
Basmaterial:
Keramiska plattor:
Alumina (Al₂o₃): Alumina -plattor är kända för sina höga elektriska isoleringsegenskaper, slitmotstånd och hög temperaturstabilitet. De är lämpliga för miljöer där minimal förorening och högprestanda är avgörande.
Silikonkarbid (SIC): Sic keramiska plattor ger exceptionell hårdhet, hög värmeledningsförmåga och stabilitet vid förhöjda temperaturer, vilket gör dem idealiska för avancerade skivhanteringsprocesser i halvledarproduktion.
Platness Precision and Material Selection
Platheten på Chucks yta är en avgörande faktor för att säkerställa korrekt skivhantering och optimala processresultat. Det materiella valet påverkar planhetens precision, liksom de totala vikten och termiska egenskaperna för vakuumchucken.
Flatness Precision:
Aluminiumlegering 6061: ger utmärkt planhet med precision, vilket gör det till ett populärt val för mindre krävande skivhanteringsuppgifter.
SUS430: Samtidigt som SUS430 erbjuder fast mekanisk stabilitet än en något lägre planhetsprecision än aluminiumlegering.
Alumina keramik (99% aluminiumoxid): erbjuder den bästa planhetens precision på grund av dess högdimensionella stabilitet under höga temperaturer och mekanisk stress.
Granit: Granit är känd för sin stabilitet och ger exakt planhet, särskilt i vibrationskänsliga miljöer.
Silicon Carbide Ceramic: Ger enastående platthetsprecision och är idealisk för högprecisionsskivhantering i högtemperaturapplikationer.
Viktöverväganden
Vikten på vakuumchucken är en annan viktig faktor, särskilt för applikationer där chuckens enkel hantering och manipulation är en viktig övervägning.
Aluminiumlegering 6061: Det lättaste materialet, vilket gör det idealiskt för applikationer som kräver minskad vikt utan att offra styrka.
Granit: Tyngre än aluminium, Granites vikt ger ytterligare stabilitet, särskilt i processer där vibrationsdämpning är avgörande.
Silicon Carbide Ceramic (SIC): Även om det är tyngre än aluminium, gör SIC: s exceptionella styrka och termiska stabilitet det material som valts för krävande applikationer.
Alumina keramik (99% aluminiumoxid): Liknande i vikt som granit ger aluminiumoxid en balans mellan stabilitet, vikt och hög temperaturresistens.
Anpassningsalternativ
Våra vakuumchuckar kan skräddarsys med olika porstorlekar i de keramiska plattorna för att passa specifika applikationsbehov. De keramiska plattorna kan också anpassas med olika färger, vilket möjliggör enkel identifiering av olika chuckar som används i olika processer.
Ansökningar
Semicorex Vacuum Chucks är oundgängliga verktyg i ett brett utbud av tillverkningsprocesser för halvledartillverkning, inklusive:
Semicorex vakuumchuckar är designade för precision, hållbarhet och mångsidighet. Vi erbjuder ett urval av högkvalitativa basmaterial i kombination med anpassningsbara keramiska plattor, vilket gör att vi kan skapa skräddarsydda lösningar för olika tillverkningsprocesser. Oavsett om du behöver lätta, högprecisionskivor eller material som tål extrema temperaturer, ger våra vakuumchucks tillförlitlighet och prestanda du behöver. Genom att välja Semicorex investerar du i en högpresterande produkt som stöds av exceptionell teknik och tillverkningskompetens.