Vertikal rånbåt

Semicorex Vertical Wafer Boat är en specialdesignad bärare för flera wafers som maximerar utrymmeseffektiviteten i bearbetningskamrarna. Dessa vertikala waferbåtar är vanligtvis rektangulära eller cylindriska till formen, och varje båt har precisionsbearbetade slitsar eller fickor som är åtskilda för att säkert hålla enskilda wafers i upprätt läge. Den vertikala waferbåten är konstruerad av kiselkarbid (SiC) som ger utmärkt motståndskraft mot höga temperaturer, korrosiva kemikalier och mekanisk påfrestning, vilket gör dem idealiska för att skydda wafers från potentiella skador.

Under halvledartillverkning genomgår wafers många intrikata processer, inklusive diffusion, RTP och termiska fält. Den vertikala waferbåten spelar en viktig roll för att underlätta dessa processer genom att fungera som en bärare för wafers, vilket möjliggör sömlös överföring mellan olika utrustningar och stadier. Dess vertikala orientering minimerar fotavtrycket i bearbetningskamrarna, optimerar genomströmningen och möjliggör effektiv hantering av stora partier av wafers.

Semicorex Vertical Wafer Boat är en hörnsten i halvledarbearbetning, och tillhandahåller en robust och pålitlig lösning för säker hantering och transport av wafers under olika tillverkningsstadier. Dess avancerade design, tillsammans med de exceptionella egenskaperna hos SiC, understryker dess avgörande roll i produktionen av banbrytande halvledarenheter.