Waferbåt för halvledarprocess

Semicorex tillhandahåller waferbåtar, piedestaler och specialanpassade waferbärare för både vertikala/pelare och horisontella konfigurationer. Vi har varit tillverkare och leverantör av kiselkarbidbeläggningsfilm i många år. Vår Wafer Boat for Semiconductor Process har en bra prisfördel och täcker de flesta europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Semicorex SiC Wafer Boat for Semiconductor Process, den ultimata lösningen för waferhantering och skydd vid halvledartillverkning. Vår waferbåt för halvledarprocess är gjord av högkvalitativ kiselkarbid, som har god motståndskraft mot korrosion och utmärkt motståndskraft mot höga temperaturer och termisk chock. Avancerad keramik ger utmärkt värmebeständighet och plasmahållbarhet samtidigt som den mildrar partiklar och föroreningar för högkapacitets waferbärare.

Parametrar för Wafer Boat för halvledarprocess

Tekniska egenskaper
Index	Enhet	Värde
material namn		Reaktionssintrad kiselkarbid	Trycklös sintrad kiselkarbid	Omkristalliserad kiselkarbid
Sammansättning		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Böjhållfasthet	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100 (1400°C)
Tryckhållfasthet	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hårdhet	Knoop	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Värmeledningsförmåga	W/m.k	95	120	23
Värmeutvidgningskoefficient	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Specifik värme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elasticitetsmodul	Gpa	360	410	240

Funktioner hos Wafer Boat för halvledarprocess

Överlägsen värmebeständighet och termisk enhetlighet
Fin SiC-kristallbelagd för en slät yta
Hög hållbarhet mot kemisk rengöring
Materialet är utformat så att sprickor och delaminering inte uppstår.