Wafer båt

Semicorex Wafer Boat är designad för att klara diffusionsugns hårda förhållanden, såsom höga temperaturer, korrosiva miljöer och behovet av exakt placering av wafer under diffusionsprocessen.

Wafer Boat är gjord av kiselkarbidkeramik, vald för sina exceptionella egenskaper. Kiselkarbid är känt för sin höga värmeledningsförmåga, vilket säkerställer en jämn temperaturfördelning över skivorna under diffusion. Denna enhetlighet är avgörande för att bibehålla integriteten hos skivorna och säkerställa konsekventa dopningsnivåer, vilket är väsentligt för funktionaliteten hos de halvledarenheter som tillverkas. Dessutom gör Silicon Carbides höga smältpunkt och termiska stabilitet att Wafer Boat kan arbeta vid de förhöjda temperaturer som krävs i diffusionsprocesser, ofta över 1000°C, utan att försämras eller deformeras.

En av de viktigaste fördelarna med kiselkarbidkeramik i waferbåten är dess utmärkta kemikaliebeständighet. Detta motstånd är särskilt viktigt för att bibehålla renheten hos halvledarskivorna, eftersom all kontaminering kan leda till defekter i slutprodukten, vilket äventyrar de integrerade kretsarnas prestanda.

Den strukturella integriteten hos Wafer Boat är en annan kritisk faktor i dess design. Designen måste säkerställa att skivorna hålls säkert på plats, med exakta avstånd för att möjliggöra jämn exponering för de reaktiva gaserna. Denna precision är avgörande för att uppnå enhetlig dopning över alla wafers, vilket direkt påverkar de elektriska egenskaperna hos halvledarenheterna.

Förutom sina termiska och kemiska egenskaper erbjuder kiselkarbidkeramik utmärkt dimensionsstabilitet, avgörande för högprecisionskraven för halvledartillverkning. Denna stabilitet säkerställer att skivorna förblir perfekt inriktade, vilket möjliggör noggrann och jämn spridning av dopämnen över hela ytan på varje skiva, vilket leder till produktion av högkvalitativa halvledarenheter.

Semicorex Wafer Boat tillverkad av kiselkarbidkeramik är en viktig komponent i halvledardiffusionsprocessen. Dess exceptionella värmeledningsförmåga, kemiska beständighet, mekaniska hållfasthet och dimensionella stabilitet gör den idealisk för de krävande förhållandena för halvledartillverkning. Dess användning ökar inte bara effektiviteten och tillförlitligheten i diffusionsprocessen utan bidrar också till den totala kostnadseffektiviteten för tillverkning av halvledartillverkning.