Skivbåtar

Semicorex-skivbåtar tillverkade av kiselkarbid med hög renhet (SIC) är väsentliga komponenter i tillverkningen av halvledare. Halvledarprocesserna där de används inkluderar vanligtvis högtemperatur och frätande miljöer såsom diffusion, oxidation och LPCVD-processer. Tillämpningen av SIC -skivbåtar har konstruerats för att maximera termisk stabilitet och kemisk resistens, vilket möjliggör optimalt stöd, justering och transport av kiselskivor under bearbetning för optimal utbyte och enhetsprestanda.

Kiselkarbid är väl dokumenterad som en utmärkt termiskt ledande keramik, som uppvisar hög mekanisk styrka och överlägsen termisk chockmotstånd, oxidationsmotstånd och aggressiv kemisk resistens med kemikalier såsom HF och HCL. Egenskaperna hos SIC gör det särskilt attraktivt som ett material för skivbåtar för nästa generations halvledartillverkningsprocesser och i högtemperaturmiljöer. SIC -skivbåtar kan upprätthålla strukturell integritet och dimensionell stabilitet vid processtemperaturer på> 1500 ° C, vilket minimerar risken för vridning eller förorening av skivor vid kritiska termiska behandlingar.

Varje sicskivbåttillverkas av SIC med hög renhet med hjälp av avancerad keramisk formning och sintringsprocesser och kan skräddarsys för ett omfattande utbud av skivdiametrar (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm) samt staplingskonfigurationer vare sig vertikala eller horisontella. Våra SIC -skivbåtar har släta ytor och utmärkt planhet som minimerar partikelproduktion och är idealiska för automatiserade skivhanteringssystem.

Föroreningskontroll och utbyte är två av de mest kritiska frågorna i dagens fab. SIC -skivbärare renlighet och pålitlighet påverkar produktkvaliteten och konsistensprocessens prestanda.  SIC -skivbåtar har mycket bättre livslängd för användning, har färre underhållskrav och lägre TCO än kvarts- eller aluminiumoxidbaserade alternativ. Bättre livslängd innebär också färre problem med mikro-partikelutgjutning, därför återigen påverka renheten på skivytan och påverka rena rum renlighet.

Semicorex är inriktad på att designa och tillverka SIC -skivbåtar som använder högsta möjliga renhets råvaror i kombination med låg föroreningsmosfär sintring.  Vi gör allt för att upprätthålla låga föroreningsnivåer, för att upprätthålla porositet vid lågt värde och enhetlig mikrostruktur så att teamets arbete regelbundet kan njuta av konsekventa termiska egenskaper, exakt skivavstånd och oöverträffad kemisk nedbrytningsmotstånd.

Semicorex sicskivbåtarär ett nödvändigt element i hög temperaturbehandling av halvledare. Hög renhetssilikonkarbidskivbåtar har oöverträffade materiella egenskaper, konstruerad excellens och mikrokontamineringsfria temperament, gör dem till det höga valet för högpresterande skivtillverkning. Semicorex tillhandahåller tillförlitlighet och innovativa höga prestanda för att stödja dina mest uppdragskritiska halvledarprocesser.