Barrel Susceptor för vätskefas epitaxi

Om du behöver en grafitsusceptor som kan fungera tillförlitligt och konsekvent även i de mest krävande högtemperatur- och korrosiva miljöerna, är Semicorex Barrel Susceptor for Liquid Phase Epitaxy det perfekta valet. Dess kiselkarbidbeläggning ger utmärkt värmeledningsförmåga och värmefördelning, vilket säkerställer exceptionell prestanda i halvledartillverkning.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Semicorex Barrel Susceptor för Liquid Phase Epitaxy är det bästa valet för halvledartillverkning som kräver hög värme- och korrosionsbeständighet. Dess högrena SiC-beläggning och exceptionella värmeledningsförmåga ger överlägset skydd och värmefördelningsegenskaper, vilket säkerställer pålitlig och konsekvent prestanda även i de mest utmanande miljöer.

Vår fatsusceptor för vätskefasepitaxi är designad för att uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret, vilket säkerställer en jämn termisk profil. Detta hjälper till att förhindra kontaminering eller spridning av föroreningar, vilket säkerställer högkvalitativ epitaxiell tillväxt på waferchipset.

Kontakta oss idag för att lära dig mer om vår Barrel Susceptor for Liquid Phase Epitaxi.

Parametrar för fatsusceptor för vätskefasepitaxi

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC Î² fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	Î¼m	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300â)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Funktioner hos Barrel Susceptor för vätskefas epitaxi

- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har god densitet och kan spela en bra skyddande roll i högtemperatur- och korrosiva arbetsmiljöer.

- Kiselkarbidbelagd susceptor som används för enkristalltillväxt har en mycket hög ytplanhet.

- Minska skillnaden i termisk expansionskoefficient mellan grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet, förbättra bindningsstyrkan effektivt för att förhindra sprickbildning och delaminering.

- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.

- Hög smältpunkt, hög temperatur oxidationsbeständighet, korrosionsbeständighet.