Karbidbelagd reaktortrumssusceptor

Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor är en grafitprodukt av högsta kvalitet belagd med högrent SiC, designad speciellt för LPE-processer. Med utmärkt värme- och korrosionsbeständighet är denna produkt perfekt för användning i halvledartillverkning.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Om du letar efter en högpresterande grafitsusceptor för epitaxiell skiktbildning på halvledarskivor är Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor ett utmärkt val. Dess kiselkarbidbeläggning ger överlägsen värmefördelning och värmeledningsförmåga, vilket säkerställer exceptionell prestanda även i de mest krävande högtemperaturmiljöer.

På Semicorex fokuserar vi på att tillhandahålla högkvalitativ, kostnadseffektiv karbidbelagd reaktortrumssusceptor, vi prioriterar kundnöjdhet och tillhandahåller kostnadseffektiva lösningar. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner, leverera högkvalitativa produkter och exceptionell kundservice.

Parametrar för Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC Î² fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	Î¼m	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300â)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Egenskaper hos karbidbelagd reaktortrumssusceptor

- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har god densitet och kan spela en bra skyddande roll i högtemperatur- och korrosiva arbetsmiljöer.

- Kiselkarbidbelagd susceptor som används för enkristalltillväxt har en mycket hög ytplanhet.

- Minska skillnaden i termisk expansionskoefficient mellan grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet, förbättra bindningsstyrkan effektivt för att förhindra sprickbildning och delaminering.

- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.

- Hög smältpunkt, hög temperatur oxidationsbeständighet, korrosionsbeständighet.