EPI 3 1/4" fatmottagare

Semicorex SiC-beläggning EPI 3 1/4" Barrel Susceptor ger utmärkt termisk stabilitet och motståndskraft mot kemiska angrepp, medan grafitsubstratet erbjuder överlägsna värmeöverföringsegenskaper.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Semicorex EPI 3 1/4" barrel susceptor är en högkvalitativ grafitprodukt belagd med högrent SiC, som erbjuder exceptionell värme- och korrosionsbeständighet. Den är speciellt utformad för LPE-applikationer inom halvledartillverkningsindustrin.

Våra EPI 3 1/4" Barrel Susceptorer är designade för användning i en mängd olika industrier, inklusive flyg-, bil- och elektronikindustrin. Vi är fast beslutna att tillhandahålla högkvalitativa produkter till ett konkurrenskraftigt pris, och vi är dedikerade till att bygga långsiktigt relationer med våra kunder Kontakta oss idag för att lära dig mer om vårSiC-belagdgrafitdeglar och hur de kan gynna ditt företag.

Parametrar för EPI 3 1/4" Barrel Susceptor

Huvudspecifikationer förCVD-SICBeläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC β-fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	μm	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300 ℃)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300