SiC Coated Barrel Susceptor

SemicorexSiC belagdFatmottagareär en högrent SiC-belagd grafitbärare, som i processen används för att odla det epitaxiella lagret på waferchipset, vilket är lämpligt för många epitaxiella reaktorer. Den har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
VårSiC belagdBarrel Susceptor är också resistent mot högtemperaturoxidation och korrosion, vilket gör den till en pålitlig och hållbar produkt. Dess höga smältpunkt säkerställer att den kan motstå den miljö med höga temperaturer som krävs för effektiv halvledartillverkning.
Kontakta oss idag för att lära dig mer om vårSiC belagdFatmottagare

Parametrar förSiC belagdFatmottagare

Funktioner avSiC belagdFatmottagare

- Undvik att skala av och säkerställ beläggning på alla ytor

Oxidationsbeständighet vid hög temperatur: Stabil vid höga temperaturer upp till 1600°C

Hög renhet: tillverkad av CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden.

Korrosionsbeständighet: hög hårdhet, tät yta och fina partiklar.

Korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.

- Uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret

- Garanterar jämnhet av termisk profil

- Förhindra all kontaminering eller spridning av föroreningar