Silikonkarbidbelagd fatsusceptor

Semicorex Silicon Carbide Coated Barrel Susceptor är en högkvalitativ grafitprodukt belagd med högrent SiC, som erbjuder exceptionell värme- och korrosionsbeständighet. Den är speciellt utformad för LPE-tillämpningar inom halvledartillverkningsindustrin.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

VårSilikonkarbidbelagd fatsusceptorfrån Semicorex är en idealisk lösning för att odla enkristaller i hög temperatur och korrosiva miljöer.

På Semicorex fokuserar vi på att tillhandahålla högkvalitativa, kostnadseffektivakiselkarbidbelagdfat susceptor, vi prioriterar kundnöjdhet och tillhandahåller kostnadseffektiva lösningar. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner, leverera högkvalitativa produkter och exceptionell kundservice.

Parametrar förSilikonkarbidbelagdFatmottagare

Huvudspecifikationer förCVD-SIC Beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC β-fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	μm	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300 ℃)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Funktioner avSilikonkarbidbelagdFatmottagare

- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har god densitet och kan spela en bra skyddande roll i högtemperatur- och korrosiva arbetsmiljöer.

- Kiselkarbidbelagd susceptor som används för enkristalltillväxt har en mycket hög ytplanhet.

- Minska skillnaden i termisk expansionskoefficient mellan grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet, förbättra bindningsstyrkan effektivt för att förhindra sprickbildning och delaminering.

- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.

- Hög smältpunkt, hög temperatur oxidationsbeständighet, korrosionsbeständighet.