Semicorex Silicon Carbide Coated Barrel Susceptor är en högkvalitativ grafitprodukt belagd med högrent SiC, som erbjuder exceptionell värme- och korrosionsbeständighet. Den är speciellt utformad för LPE-tillämpningar inom halvledartillverkningsindustrin.
VårSilikonkarbidbelagd fatsusceptorfrån Semicorex är en idealisk lösning för att odla enkristaller i hög temperatur och korrosiva miljöer.
På Semicorex fokuserar vi på att tillhandahålla högkvalitativa, kostnadseffektivakiselkarbidbelagdfat susceptor, vi prioriterar kundnöjdhet och tillhandahåller kostnadseffektiva lösningar. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner, leverera högkvalitativa produkter och exceptionell kundservice.
Parametrar förSilikonkarbidbelagdFatmottagare
Huvudspecifikationer förCVD-SIC Beläggning |
||
SiC-CVD-egenskaper |
||
Kristallstruktur |
FCC β-fas |
|
Densitet |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhet |
Vickers hårdhet |
2500 |
Kornstorlek |
μm |
2~10 |
Kemisk renhet |
% |
99.99995 |
Värmekapacitet |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Felexural styrka |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Youngs modul |
Gpa (4pt böj, 1300 ℃) |
430 |
Termisk expansion (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Värmeledningsförmåga |
(W/mK) |
300 |
Funktioner avSilikonkarbidbelagdFatmottagare
- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har god densitet och kan spela en bra skyddande roll i högtemperatur- och korrosiva arbetsmiljöer.
- Kiselkarbidbelagd susceptor som används för enkristalltillväxt har en mycket hög ytplanhet.
- Minska skillnaden i termisk expansionskoefficient mellan grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet, förbättra bindningsstyrkan effektivt för att förhindra sprickbildning och delaminering.
- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.
- Hög smältpunkt, hög temperatur oxidationsbeständighet, korrosionsbeständighet.