Barrel Susceptor kiselkarbidbelagd grafit

Semicorex Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite är en specialiserad komponent designad för användning i epitaxiprocessen, särskilt för att bära wafers. Denna Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite är tillverkad av grafitmaterial, som är känt för sin utmärkta värmeledningsförmåga och stabilitet vid höga temperaturer. För att förbättra dess prestanda och hållbarhet är grafitytan belagd med ett lager av kiselkarbid (SiC).

Kiselkarbidbeläggningen av Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite tjänar flera avgörande syften i detta sammanhang. För det första ger det ett extra skyddslager till det underliggande grafitsubstratet, vilket skyddar det från kemiska reaktioner och slitage som kan uppstå under epitaxiprocessen. För det andra förbättrar SiC-beläggning de termiska egenskaperna hos Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite, vilket möjliggör effektiv och enhetlig uppvärmning av wafers. Denna enhetliga uppvärmning är väsentlig för att uppnå konsekventa och högkvalitativa epitaxiella skikt på halvledarskivorna.

Utformningen av Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite är optimerad för att säkert hålla och transportera flera wafers under hela epitaxiprocessen. Dess fatliknande struktur möjliggör enkel lastning och lossning av wafers samtidigt som den säkerställer korrekt värmefördelning och termisk stabilitet under drift.

Sammantaget representerar Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite en kritisk komponent i epitaxiutrustning, och erbjuder tillförlitlighet, hållbarhet och exakt termisk kontroll som är avgörande för produktion av avancerade halvledarenheter.