SiC-belagd epitaxialreaktorpipa

Semicorex SiC Coated Epitaxial Reactor Barrel är en grafitprodukt av högsta kvalitet belagd med högrent SiC. Dess utmärkta densitet och värmeledningsförmåga gör den till ett idealiskt val för användning i LPE-processer, vilket ger exceptionell värmefördelning och skydd i korrosiva och höga temperaturer.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

När det kommer till halvledartillverkning är Semicorex SiC Coated Epitaxial Reactor Barrel det bästa valet för överlägsen prestanda och exceptionell värmefördelning. Belagd med högrent SiC, denna grafitprodukt ger enastående korrosions- och värmebeständighet, vilket säkerställer tillförlitliga och konsekventa resultat varje gång.

På Semicorex fokuserar vi på att tillhandahålla högkvalitativa, kostnadseffektiva produkter till våra kunder. Vårt SiC-belagda epitaxialreaktorrör har en prisfördel och exporteras till många europeiska och amerikanska marknader. Vi strävar efter att vara din långsiktiga partner som levererar konsekventa kvalitetsprodukter och exceptionell kundservice.

Parametrar för SiC-belagd epitaxialreaktorcylinder

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC Î² fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	Î¼m	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300â)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Egenskaper hos SiC-belagd epitaxialreaktorrör

- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har god densitet och kan spela en bra skyddande roll i högtemperatur- och korrosiva arbetsmiljöer.

- Kiselkarbidbelagd susceptor som används för enkristalltillväxt har en mycket hög ytplanhet.

- Minska skillnaden i termisk expansionskoefficient mellan grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet, förbättra bindningsstyrkan effektivt för att förhindra sprickbildning och delaminering.

- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.

- Hög smältpunkt, hög temperatur oxidationsbeständighet, korrosionsbeständighet.