CVD epitaxiell avsättning i fatreaktor

Semicorex CVD Epitaxial Deposition In Barrel Reactor är en mycket hållbar och pålitlig produkt för att odla epixiala lager på waferchips. Dess oxidationsbeständighet vid höga temperaturer och höga renhet gör den lämplig för användning inom halvledarindustrin. Dess jämna termiska profil, laminära gasflödesmönster och förhindrande av kontaminering gör den till ett idealiskt val för högkvalitativ tillväxt av epixiala lager.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Vår CVD Epitaxial Deposition In Barrel Reactor är en högpresterande produkt designad för att leverera pålitlig prestanda i extrema miljöer. Dess överlägsna beläggningsvidhäftning, oxidationsbeständighet vid hög temperatur och korrosionsbeständighet gör den till ett utmärkt val för användning i tuffa miljöer. Dessutom säkerställer dess jämna termiska profil, laminära gasflödesmönster och förhindrande av kontaminering den höga kvaliteten på det epixiala lagret.

På Semicorex fokuserar vi på att tillhandahålla högkvalitativa, kostnadseffektiva produkter till våra kunder. Vår CVD Epitaxial Deposition In Barrel Reactor har en prisfördel och exporteras till många europeiska och amerikanska marknader. Vi strävar efter att vara din långsiktiga partner som levererar konsekventa kvalitetsprodukter och exceptionell kundservice.

Parametrar för CVD epitaxiell avsättning i fatreaktor

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC Î² fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	Î¼m	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300â)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Funktioner av CVD epitaxiell deposition i fatreaktor

- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har god densitet och kan spela en bra skyddande roll i högtemperatur- och korrosiva arbetsmiljöer.

- Kiselkarbidbelagd susceptor som används för enkristalltillväxt har en mycket hög ytplanhet.

- Minska skillnaden i termisk expansionskoefficient mellan grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet, förbättra bindningsstyrkan effektivt för att förhindra sprickbildning och delaminering.

- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.

- Hög smältpunkt, hög temperatur oxidationsbeständighet, korrosionsbeständighet.