> Produkter > Silikonkarbidbelagd > Fatmottagare > Induktivt uppvärmt fat Epi-system

Produkter

Nya produkter

Induktivt uppvärmt fat Epi-system

Om du behöver en grafitsusceptor med exceptionell värmeledningsförmåga och värmefördelningsegenskaper, behöver du inte leta längre än Semicorex Inductively Heated Barrel Epi System. Dess högrena SiC-beläggning ger överlägset skydd i hög temperatur och korrosiva miljöer, vilket gör den till det idealiska valet för användning i halvledartillverkningstillämpningar.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Semicorex Inductively Heated Barrel Epi System är det perfekta valet för halvledartillverkning som kräver exceptionell värmefördelning och värmeledningsförmåga. Dess högrena SiC-beläggning och överlägsna densitet ger överlägset skydd och värmefördelningsegenskaper, vilket säkerställer pålitlig och konsekvent prestanda även i de mest utmanande miljöer.
På Semicorex fokuserar vi på att tillhandahålla högkvalitativa, kostnadseffektiva produkter till våra kunder. Vårt induktivt uppvärmda fat Epi-system har en prisfördel och exporteras till många europeiska och amerikanska marknader. Vi strävar efter att vara din långsiktiga partner som levererar konsekventa kvalitetsprodukter och exceptionell kundservice.

Parametrar för induktivt uppvärmt fat Epi-system

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC β-fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	μm	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300 ℃)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Funktioner hos induktivt uppvärmt fat Epi-system

- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har god densitet och kan spela en bra skyddande roll i högtemperatur- och korrosiva arbetsmiljöer.

- Kiselkarbidbelagd susceptor som används för enkristalltillväxt har en mycket hög ytplanhet.

- Minska skillnaden i termisk expansionskoefficient mellan grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet, förbättra bindningsstyrkan effektivt för att förhindra sprickbildning och delaminering.

- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.

- Hög smältpunkt, hög temperatur oxidationsbeständighet, korrosionsbeständighet.