LPE Barrel Susceptor med SiC-beläggning

Om du letar efter en högkvalitativ grafitsusceptor belagd med högrent SiC, är Semicorex LPE Barrel Susceptor med SiC-beläggning det perfekta valet. Dess exceptionella värmeledningsförmåga och värmefördelningsegenskaper gör den idealisk för användning i halvledartillverkning.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Semicorex LPE Barrel Susceptor med SiC-beläggning är en grafitprodukt av högsta kvalitet belagd med högrent SiC, vilket gör den till det idealiska valet för användning i högtemperatur- och korrosiva miljöer. Dess utmärkta densitet och värmeledningsförmåga ger exceptionell värmefördelning och skydd vid tillverkning av halvledartillämpningar.

På Semicorex fokuserar vi på att tillhandahålla högkvalitativa, kostnadseffektiva produkter till våra kunder. Vår LPE Barrel Susceptor med SiC-beläggning har en prisfördel och exporteras till många europeiska och amerikanska marknader. Vi strävar efter att vara din långsiktiga partner som levererar konsekventa kvalitetsprodukter och exceptionell kundservice.

Parametrar för LPE Barrel Susceptor med SiC-beläggning

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC Î² fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	Î¼m	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300â)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Funktioner hos LPE Barrel Susceptor med SiC-beläggning

- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har god densitet och kan spela en bra skyddande roll i högtemperatur- och korrosiva arbetsmiljöer.

- Kiselkarbidbelagd susceptor som används för enkristalltillväxt har en mycket hög ytplanhet.

- Minska skillnaden i termisk expansionskoefficient mellan grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet, förbättra bindningsstyrkan effektivt för att förhindra sprickbildning och delaminering.

- Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.

- Hög smältpunkt, hög temperatur oxidationsbeständighet, korrosionsbeständighet.