Poly-Si slitsade ringar

Poly-Si slitsade ringar installeras vanligtvis i reaktionskammaren på avancerad halvledaretsningsutrustning. De fungerar synergistiskt med kiseldelar, inklusive kiselfokusringar, ytterringar av kisel och kiselduschmunstycken. Dessa delar kan skapa en stabil och optimal reaktionsmiljö för etsningsprocessen, vilket säkerställer utmärkt denetsningprecision och processkonsistens.

Funktioner hos Semicorex poly-Si slitsade ringar

1. Semicorex poly-Si slitsade ringar är utrustade med flera jämnt fördelade slitsar som fungerar som gaspassager, vilket möjliggör ett smidigt utsläpp av processgaser efter reaktion.

2. Semicorex poly-Si slitsade ringar kan uppnå utmärkt plasmakontroll, vilket ger tillförlitligt skydd för reaktionskammaren i halvledaretsningsutrustning.

3. Semicorex poly-Si slitsade ringar kan hjälpa till att justera det elektriska fältet och kammartrycket, vilket förhindrar instabilitet från att påverka etsningsprocessens konsistens.

Materialval av hög standard

Semicorex poly-Si slitsade ringar är tillverkade av högkvalitativt polykristallint kisel med en renhetsnivå på över 99,9999%, vilket ger dem överlägsna egenskaper enligt följande.

1. Ultrahög renhet och extremt låg föroreningshalt.

2. Exceptionell plasmakorrosionsbeständighet.

3. Gynnsamma elektriska egenskaper, med resistansjämnhet: RRG ≤ 5 %, lågupplösning. (<0,02), medeluppl. (1–4) och högupplösning. (70–90).

Tillverkningskapacitet och kvalitetskontroll

Utrustad med avancerad bearbetningsutrustning och ett erfaret tekniskt team kontrollerar Semicorex strikt varje produktionsprocess och erbjuder högkvalitativa och välmatchade poly-Si slitsade ringar till våra uppskattade kunder. Dessutom genomför Semicorex strikt kontroll över dimensionsmätning, resistivitetstestning och visuell inspektion av de färdiga poly-Si slitsade ringarna för att säkerställa att de är fria från defekter som spån, repor, sprickor och fläckar.